[發明專利]平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置

有效

• 申請號: 201410215066.2
• 申請日: 2014-05-21
• 公開（公告）號: CN103954237B
• 公開（公告）日: 2017-03-15
• 發明（設計）人: 廖德鋒;趙世杰;謝瑞清;陳賢華;王健;許喬;鐘波;袁志剛;鄧文輝;唐才學;徐曦;周煉
• 申請（專利權）人: 成都精密光學工程研究中心
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 成都希盛知識產權代理有限公司51226
• 代理人: 蒲敏

1.平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：設置有支撐座（2），在所述支撐座（2）上端設置有橫梁（3），在所述橫梁（3）上設置有導軌（4）和電機，所述電機包括定子（5）和動子（8），移動塊（7）通過滑塊（6）設置在所述動子（8）和導軌（4）上，并能沿著所述導軌（4）左右移動，在所述移動塊（7）上設置有可調支架（10），所述可調支架（10）與激光位移傳感器連接，所述激光位移傳感器包括探測頭（11）和數據連接線（12），所述激光位移傳感器與PC機連接，在所述探測頭（11）下設置有可調平臺（14）。

2.如權利要求1所述的平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：所述電機通過電機驅動器驅動，所述電機驅動器通過微控制器控制。

3.如權利要求1所述的平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：所述導軌（4）由2根軌條組成，分別設置在所述橫梁（3）的上下兩端。

4.如權利要求3所述的平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：所述滑塊（6）為4個，兩兩分別設置在所述2根軌條上。

5.如權利要求1所述的平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：所述移動塊（7）與可調支架（10）通過磁塊（9）連接。

6.如權利要求5所述的平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：所述磁塊（9）具有開、關兩種可調狀態。

7.如權利要求1所述的平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：所述移動塊（7）采用軟磁性材料制成。

8.如權利要求1所述的平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：所述探測頭（11）的位置和高度通過可調支架（10）調節。

9.如權利要求1所述的平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：在所述可調平臺（14）上設置有平面標準鏡（13）。

10.如權利要求9所述的平面拋光盤表面形狀誤差的檢測裝置，其特征在于：所述平面標準鏡（13）的面形誤差PV值小于1um。