[發(fā)明專利]一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410214496.2
• 申請日: 2014-05-20
• 公開（公告）號: CN104726850B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱雨;王海俠
• 申請（專利權(quán)）人: 朱雨
• 主分類號: C23C16/517
• 分類號: C23C16/517;C23C16/513;C23C16/511
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11205
• 代理人: 劉芳

1.一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括微波源，第一波導(dǎo)管，微波模式轉(zhuǎn)換器和諧振裝置，

所述第一波導(dǎo)管的一端與所述微波源連接，另一端與所述微波模式轉(zhuǎn)換器連接；

所述諧振裝置包括一諧振腔和微波聚集單元，所述諧振腔的頂部設(shè)有介質(zhì)窗口，所述微波模式轉(zhuǎn)換器位于所述介質(zhì)窗口的上部并且能夠?qū)碜运鑫⒉ㄔ吹奈⒉ㄟM行模式轉(zhuǎn)換并經(jīng)所述介質(zhì)窗口傳送至所述諧振腔，在所述諧振腔的內(nèi)部設(shè)有基座，在所述基座上承載有基片，且所述基座的設(shè)置能夠使其上承載的所述基片位于所述介質(zhì)窗口的下方，所述微波聚集單元設(shè)于所述諧振腔上并能夠?qū)魉椭了鲋C振腔的微波聚集于所述基片上，

所述微波聚集單元為設(shè)于所述諧振腔側(cè)壁上的傾斜部，所述諧振腔由金屬材料制成，所述傾斜部由金屬材料制成，并且所述傾斜部的垂直線相交于所述基片上，

在所述諧振腔內(nèi)，環(huán)繞所述基座設(shè)有凸臺，且所述凸臺與所述基座之間相對設(shè)有能夠上下移動的金屬部件，所述凸臺為環(huán)設(shè)在所述基座外部的環(huán)形凸臺，所述金屬部件為設(shè)置在所述凸臺與所述基座之間環(huán)形金屬塊，并且所述環(huán)形金屬塊的內(nèi)面與所述基座的側(cè)面接觸，外面與所述環(huán)形凸臺的內(nèi)面接觸，

在所述諧振腔的內(nèi)部還設(shè)有等離子體約束單元，其由透光材料制成，并且設(shè)置在所述基片的外部，所述等離子體約束單元的底部設(shè)置在所述凸臺上，并且所述等離子體約束單元的設(shè)置能夠使其內(nèi)部形成真空。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述透光材料為石英或藍(lán)寶石。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述微波模式轉(zhuǎn)換器包括適配器、第二波導(dǎo)管和模式轉(zhuǎn)換天線，

所述適配器分別與所述第一波導(dǎo)管和第二波導(dǎo)管連接；

所述第二波導(dǎo)管與所述諧振腔連接并且相對所述第一波導(dǎo)管垂直設(shè)置；

所述模式轉(zhuǎn)換天線設(shè)置在所述第二波導(dǎo)管內(nèi)，并且其一端伸入所述適配器中，另一端伸入所述諧振裝置中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述諧振裝置還包括位于所述介質(zhì)窗口上部的耦合轉(zhuǎn)換腔，所述耦合轉(zhuǎn)換腔與所述第二波導(dǎo)管連通，所述模式轉(zhuǎn)換天線伸入所述耦合轉(zhuǎn)換腔內(nèi)，所述耦合轉(zhuǎn)換腔能夠?qū)碜运鑫⒉ㄔ吹奈⒉ń?jīng)所述介質(zhì)窗口傳送至所述諧振腔。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，在所述第一波導(dǎo)管和所述適配器之間設(shè)置有柔性波導(dǎo)管。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，還包括調(diào)配器，其與所述第一波導(dǎo)管連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，還包括調(diào)配器，其與所述第一波導(dǎo)管連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，還包括調(diào)配器，其與所述第一波導(dǎo)管連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，還包括調(diào)配器，其與所述第一波導(dǎo)管連接。