[發(fā)明專利]一種濾波器及其形成方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410213861.8 | 申請日： | 2014-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN105098304B | 公開（公告）日： | 2018-11-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 萬晶;牟鵬飛;閻躍鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類號： | H01P1/207 | 分類號： | H01P1/207;H01P11/00;H01P7/06 |
| 代理公司： | 北京維澳專利代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;吉海蓮 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 濾波器 及其 形成 方法 | ||
1.一種濾波器，其特征在于，包括：
襯底；
襯底上的介質(zhì)層；
介質(zhì)層中的第一金屬層，第一金屬層為接地端且為平面層；
槽線諧振腔，為形成在第一金屬層中的槽線型諧振腔，暴露第一金屬層下的介質(zhì)層；
與槽線諧振腔相連的輸入饋線和輸出饋線，所述輸入饋線和輸出饋線為形成在第一金屬層中的共面波導(dǎo)傳輸線，都包括傳輸線和溝槽，溝槽位于傳輸線的兩側(cè)且暴露第一金屬層下的介質(zhì)層，所述輸入饋線和輸出饋線的傳輸線和溝槽分別與槽線的兩個(gè)側(cè)邊相接，第一金屬層接地。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述槽線型諧振腔為基本為U型的槽線諧振腔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的濾波器，其特征在于，還包括第一金屬層之上的第二金屬層，第二金屬層為微帶傳輸線的輸入饋線和輸出饋線。
4.一種濾波器的形成方法，其特征在于，包括步驟：
提供襯底；
在所述襯底上形成第一介質(zhì)層，以及在第一介質(zhì)層中形成第一金屬層；
刻蝕第一金屬層，直到暴露第一介質(zhì)層，在第一金屬層中形成槽線，以形成槽線諧振腔；
形成輸入饋線和輸出饋線，具體包括：刻蝕第一金屬層，直到暴露第一介質(zhì)層，在第一金屬層中形成第一溝槽和第二溝槽；其中，第一溝槽和第二溝槽與槽線的兩個(gè)側(cè)邊相接，第一溝槽和第二溝槽間的第一金屬層為傳輸線，該傳輸線與第一溝槽和第二溝槽構(gòu)成共面波導(dǎo)的輸入饋線和輸出饋線；
第一金屬層為接地端且為平面層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的形成方法，其特征在于，所述槽線諧振腔基本為U型。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的形成方法，其特征在于，形成輸入饋線和輸出饋線的步驟具體包括：
在第一金屬層上形成第二介質(zhì)層，以及在第二介質(zhì)層中形成第二金屬層，第二金屬層為微帶傳輸線的輸入饋線和輸出饋線。
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