[發明專利]正性光敏樹脂組合物、光敏樹脂膜和用其制備的顯示裝置有效
| 申請號: | 201410211550.8 | 申請日: | 2014-05-19 |
| 公開(公告)號: | CN104375379B | 公開(公告)日: | 2019-06-14 |
| 發明(設計)人: | 權志倫;姜真熙;金大潤;金上權;金尚洙;金容臺;盧健培;樸銀碧;白載烈;宋在煥;尹銀卿;李范珍;李種和;李珍泳;洪忠范;黃銀夏;黃仁澈 | 申請(專利權)人: | 第一毛織株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/039 | 分類號: | G03F7/039;G03F7/016 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 張英;王玉桂 |
| 地址: | 韓國慶*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光敏 樹脂 組合 制備 顯示裝置 | ||
本發明公開了正性光敏樹脂組合物、光敏樹脂膜和用其制備的顯示裝置。所述正性光敏樹脂組合物包括:(A)堿溶性樹脂;(B)光敏重氮醌化合物;(C)包含由化學式1或化學式2表示的化合物中的至少一種的第一溶解控制劑;(D)包含由化學式3表示的化合物的第二溶解控制劑;以及(E)溶劑。
相關申請的引用
本申請要求于2013年8月13日在韓國知識產權局提交的韓國專利申請號10-2013-0096165的優先權和權益,通過引用將其全部內容并入本文中。
技術領域
本公開涉及正性光敏樹脂組合物以及光敏樹脂膜和通過使用其制備的顯示裝置(顯示器件)。
背景技術
用于半導體器件的表面保護層和層間絕緣膜使用具有優異的耐熱性、電特性、機械特性等的聚酰亞胺樹脂。近來,聚酰亞胺樹脂已經被用作光敏聚酰亞胺前體組合物。光敏聚酰亞胺前體組合物容易被涂覆在半導體裝置上,通過紫外(UV)線進行圖案化、顯影以及熱酰亞胺化,從而形成表面保護層、層間絕緣膜等。因此,與常規非光敏聚酰亞胺前體組合物相比,光敏聚酰亞胺前體組合物可以顯著地縮短加工時間。然而,由于聚酰胺酸的羧酸過高地溶于堿中,因此正性光敏聚酰亞胺前體組合物具有不能獲得期望圖案的問題。為了解決該問題,已經建議具有酚羥基的材料(專利特許公開Pyong10-307393)代替羧酸,但是這種材料不足夠開發并且已經引入膜損失或樹脂從基板脫層的問題。近來,通過將聚苯并噁唑前體和重氮萘醌化合物混合制備的另一材料已經引起關注(日本專利特許公開Sho63-96162)。然而,當被實際用作聚苯并噁唑前體組合物時,未曝光部分的膜損失顯著增加,顯影之后很難獲得期望的圖案。此外,由于用于調節溶解度的酚化合物在熱固化過程中的高溫下分解,引起副反應等,并且對固化膜的機械性能造成巨大損害,因此要求對溶解控制劑進行研究。
發明內容
本發明的一個實施方式提供了具有曝光部分和未曝光部分之間的改善的對比度、以及高靈敏度(敏感性)和高分辨率的正性光敏樹脂組合物。
本發明的另一個實施方式提供了使用該正性光敏樹脂組合物的光敏樹脂膜。
本發明的又一個實施方式提供了包括該光敏樹脂膜的顯示裝置。
本發明的一個實施方式提供了一種正性光敏樹脂組合物,包含:(A)堿溶性樹脂;(B)光敏重氮醌化合物;(C)包含由以下化學式1或化學式2表示的化合物中的至少一種的第一溶解控制劑;(D)包含由以下化學式3表示的化合物的第二溶解控制劑;以及(E)溶劑。
[化學式1]
[化學式2]
在以上化學式1和2中,
R1和R2獨立地是氫、或取代或未取代的C1至C30烷基,
m和n獨立地是1至5的整數,以及
R3至R8獨立地是氫、羥基、或取代或未取代的C1至C30烷基。
[化學式3]
在以上化學式3中,
L是O、CO、CONH、NH、S2、SO、SO2或單鍵,
R9和R10獨立地是氫、取代或未取代的C1至C30烷基、或取代或未取代的C6至C30芳基,以及
o和p獨立地是1至5的整數。
第二溶解控制劑可以具有約150℃至約350℃的沸點。
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