[發明專利]用于背接觸太陽能組件的芯板及其制備方法

在審

• 申請號: 201410207722.4
• 申請日: 2014-05-16
• 公開（公告）號: CN103956400A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 孫嵩泉;王楊陽;李晨;張鳳鳴;路忠林
• 申請（專利權）人: 普樂新能源（蚌埠）有限公司;南京日托光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/049
• 分類號: H01L31/049;H01L31/18
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 王琪

1.用于背接觸太陽能組件的芯板，它自下而上包括支撐層和金屬箔層，其特征在于：金屬箔層之上設有非銀基合金納米膜層，非銀基合金納米膜層之上設有納米過渡膜層。

2.如權利要求1所述的用于背接觸太陽能組件的芯板的制備方法，包括以下步驟：

（1）采用加熱加壓的方法將支撐層和金屬箔層復合到一起；

（2）采用高能量磁控反濺射的方法處理金屬箔層；

（3）在金屬箔層表面沉積非銀基合金納米膜層，在非銀基合金納米膜層表面沉積納米過渡膜層；

（4）對納米過渡膜層、非銀基合金納米膜層和金屬箔層進行電路圖的蝕刻。