[發(fā)明專利]高壓氫環(huán)境下的載荷傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410205215.7
• 申請(qǐng)日: 2014-05-15
• 公開（公告）號(hào): CN104062048A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張林;占生根;周成雙;陳興陽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01L1/22
• 分類號(hào): G01L1/22;G01B7/16
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種高壓氫環(huán)境下的載荷傳感器，包括傳感器上殼、傳感器下殼及彈性體，彈性體分別與傳感器上殼、傳感器下殼螺紋連接，其特征在于：彈性體中部均布有箔式應(yīng)變片，箔式應(yīng)變片與彈性體粘接，箔式應(yīng)變片包括敏感柵、基底、覆蓋層和引出線，敏感柵由膠黏劑粘在基底和覆蓋層之間，引出線連接敏感柵，敏感柵的制作材料為鐵基合金，敏感柵表面設(shè)有一層氫穿透阻隔薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高壓氫環(huán)境下的載荷傳感器，其特征在于：所述鐵基合金按質(zhì)量百分比計(jì)各元素的組成為：鉻10-20%，鎳3-8%，鋁1-6%，鐵余量。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高壓氫環(huán)境下的載荷傳感器，其特征在于：所述敏感柵的厚度為3μm-15μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高壓氫環(huán)境下的載荷傳感器，其特征在于：所述氫穿透阻隔薄膜由鐵過渡層和鋁薄層組成，氫穿透阻隔薄膜加工時(shí)先采用磁控濺射技術(shù)在敏感柵表面沉積一層厚度為10-100nm金屬鐵形成鐵過渡層，接著再沉積一層厚度為10-100nm的金屬鋁形成鋁薄層。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高壓氫環(huán)境下的載荷傳感器，其特征在于：磁控濺射技術(shù)加工參數(shù)為：抽真空至6.7×10^-3 Pa，加熱至300 ℃，400 V高壓下Ar離子清洗后，60V電壓下先沉積形成鐵過渡層，然后沉積形成鋁薄層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高壓氫環(huán)境下的載荷傳感器，其特征在于：所述阻隔薄膜表面還采用等離子體氧化技術(shù)加工有一層厚度為1nm-10nm的氧化鋁保護(hù)層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高壓氫環(huán)境下的載荷傳感器，其特征在于：等離子體氧化技術(shù)加工參數(shù)為：使用的射頻源頻率為10-15MHz，射頻源功率為2W/cm²，氣源為氬氣和氧氣的按照5-10：1的體積比混合而成的混合氣體，氣體流量為49sccm ，反應(yīng)室氣壓為1×10⁴-8×10⁴Pa，敏感柵溫度控制為250℃，氧化時(shí)間為0. 5-2. 5h。