[發(fā)明專利]防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器及其制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410204621.1 | 申請日: | 2014-05-14 |
| 公開(公告)號: | CN104018121A | 公開(公告)日: | 2014-09-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 匡友元;鄒清華;張鑫狄;吳泰必;吳聰原 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 深圳市德力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 防止 高溫 金屬材料 泄漏 加熱 容器 及其 制造 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及加熱容器,尤其涉及一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器及其制造方法。?
背景技術(shù)
OLED(有機(jī)發(fā)光二極管,Organic?Light?Emitting?Diode)具有全固態(tài)、超薄、無視角限制、快速響應(yīng)、室溫工作、易于實(shí)現(xiàn)柔性顯示和3D顯示等優(yōu)點(diǎn),一致被公認(rèn)為是下一代顯示的主流技術(shù)。目前OLED器件制作的主要方式是加熱蒸發(fā)鍍膜,主要是使用加熱容器在真空環(huán)境下加熱蒸鍍材料,使升華型或者熔融型的蒸鍍材料在高溫狀態(tài)下氣化,沉積在有TFT結(jié)構(gòu)或者陽極結(jié)構(gòu)的基板上。?
現(xiàn)有蒸鍍制程中,對于蒸發(fā)容器普遍采用單層容器加熱蒸發(fā)的模式,但是在升降溫的過程中,加熱容器側(cè)面與底部交界處常常因為高溫金屬液體冷凝收縮導(dǎo)致發(fā)生微裂紋,從而引發(fā)材料異常流失,而且,微裂紋會導(dǎo)致高溫液體流出進(jìn)入加熱裝置引發(fā)內(nèi)部電路短路,損壞整個加熱裝置,進(jìn)而造成OLED產(chǎn)品生產(chǎn)中斷和產(chǎn)品品質(zhì)下降。因為微裂紋在冷卻狀態(tài)不容易發(fā)現(xiàn),所以判斷加熱容器破裂泄漏的難度大而且難預(yù)知。?
參見圖1A及圖1B,圖1A為現(xiàn)有技術(shù)中一種OLED加熱容器的結(jié)構(gòu)示意圖,圖1B為圖1A的剖面圖,該OLED加熱容器用于現(xiàn)有的OLED蒸鍍制程。加熱容器上方設(shè)有上蓋2,上蓋2上設(shè)有氣孔1,加熱容器內(nèi)盛放的材料3經(jīng)加熱蒸發(fā)后可由氣孔1按箭頭方向逸出,當(dāng)加熱容器破損時,材料3由破裂處4溢出進(jìn)入加熱裝置,一方面造成材料3大量流失和蒸發(fā)速率下降,中斷生產(chǎn),另一方面在不知情的情況下添加材料3進(jìn)入加熱裝置有損壞加熱裝置可能。?
發(fā)明內(nèi)容
因此,本發(fā)明的目的在于提供一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器,克服加熱容器損壞導(dǎo)致材料流失問題,保護(hù)加熱裝置。?
本發(fā)明的另一目的在于提供一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器的制造方法,使該加熱容器能夠克服加熱容器損壞導(dǎo)致材料流失問題,保護(hù)加熱裝置。?
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器,包括:用于容納金屬材料的內(nèi)部加熱容器,用于接受加熱裝置加熱的外部加熱容器,以及設(shè)有用于金屬材料蒸發(fā)后逸出的氣孔的上蓋;該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定,該內(nèi)部加熱容器側(cè)壁與該外部加熱容器側(cè)壁之間設(shè)有空隙,該上蓋固定于該內(nèi)部加熱容器與外部加熱容器的上方以覆蓋該內(nèi)部加熱容器與外部加熱容器的開口。?
其中,該內(nèi)部加熱容器及外部加熱容器材質(zhì)相同。?
其中,該加熱容器為用于OLED蒸鍍制程的加熱容器。?
其中,該內(nèi)部加熱容器的底部與該外部加熱容器的底部相互接觸。?
其中,該內(nèi)部加熱容器的底部與該外部加熱容器的底部之間設(shè)有空隙。?
其中,該內(nèi)部加熱容器及外部加熱容器為坩堝。?
其中,該內(nèi)部加熱容器的頂部及外部加熱容器的頂部焊接成為一體。?
其中,該上蓋同時與該內(nèi)部加熱容器的頂部及外部加熱容器的頂部卡緊固定。?
本發(fā)明還提供了所述加熱容器的制造方法,包括:?
步驟1、量取內(nèi)部加熱容器的外圍和內(nèi)部尺寸;?
步驟2、選取內(nèi)徑可包覆該內(nèi)部加熱容器的外部加熱容器;?
步驟3、根據(jù)該內(nèi)部加熱容器的高度對該外部加熱容器的高度進(jìn)行截取;?
步驟4、將該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定。?
本發(fā)明還提供了所述加熱容器的另一制造方法,包括:?
步驟11、量取外部加熱容器的外圍和內(nèi)部尺寸;?
步驟21、選取外徑可容納于該外部加熱容器中的內(nèi)部加熱容器;?
步驟31、根據(jù)該外部加熱容器的高度對該內(nèi)部加熱容器的高度進(jìn)行截取;?
步驟41、將該內(nèi)部加熱容器完全容納于該外部加熱容器中并且位置相對該外部加熱容器固定。?
綜上所述,本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器克服了加熱容器在日常使用中出現(xiàn)裂痕引起的材料異常流失和生產(chǎn)進(jìn)度中斷的問題,有效的提高了加熱裝置連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行的周期、保證了產(chǎn)品的品質(zhì);同時,該加熱容器的制造方法方便快捷,成本低廉。?
附圖說明
下面結(jié)合附圖,通過對本發(fā)明的具體實(shí)施方式詳細(xì)描述,將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其他有益效果顯而易見。?
附圖中,?
圖1A為現(xiàn)有技術(shù)中一種OLED加熱容器的結(jié)構(gòu)示意圖;?
圖1B為圖1A的剖面圖;?
圖2為本發(fā)明防止高溫金屬材料泄漏的加熱容器第一較佳實(shí)施例的剖面示意圖;?
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- 專利分類
C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





