[發明專利]錯位復雜微通道微型換熱器

有效

• 申請號: 201410204283.1
• 申請日: 2014-05-14
• 公開（公告）號: CN104167399B
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發明（設計）人: 夏國棟;馬丹丹;翟玉玲;蔣靜;李云飛
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: H01L23/473
• 分類號: H01L23/473
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司11203
• 代理人: 張慧

1.一種流體強制對流錯位復雜微通道微型換熱器，其特征在于，包括依次疊層封裝在一起封裝片(1)，基板(2)；封裝片(1)表面的兩邊開有與外部管路連接的通孔，分別作為流體入口(3)和流體出口(4)；基板(2)正面的四周為平整的一圈凸起，在垂直方向上與流體入口(3)和流體出口(4)相應位置的基板正面為矩形凹槽即進口蓄液槽(6)和出口蓄液槽(7)，基板正面的中間區域即進口蓄液槽(6)和出口蓄液槽(7)之間的區域為錯位復雜微通道區域(5)，錯位復雜微通道區域(5)的頂面與封裝片形成封閉的多根并聯錯位復雜微通道，錯位復雜微通道區域(5)將進口蓄液槽(6)和出口蓄液槽(7)區域連通，錯位復雜微通道區域(5)垂直于通道方向的相對的兩邊分別與基板正面的凸起連接；封裝片(1)密封蓋在基板(2)的正面上，封裝片(1)的流體入口(3)位于基板(2)進口蓄液槽(6)的正上方，封裝片(1)的流體出口(4)位于基板(2)出口蓄液槽(7)的正上方；錯位復雜結構微通道是由相鄰兩個錯位的扇形凹槽的長條微結構相對的兩個壁面或由相鄰兩個錯位三角凹槽的長條微結構相對的兩個壁面與封裝片的下表面形成的多根封閉平行通道并聯組成；

所述含有扇形凹槽的長條微結構指的是以多個平行的平直長條微結構為基礎，任一個平直長條與相鄰的平直長條平行相對的兩側面均刻有扇形凹槽，扇形凹槽是凹向平直長條中心軸的，扇形凹槽的高度與平直長條的高度齊平，扇形凹槽任意高度所在的扇面均與平直長條的中心軸平行，扇形凹槽在平直長條的兩個側面錯位均勻分散布置，即在同一側面是扇形凹槽和未刻蝕的直平面交替分布，同一平直長條兩側面的扇形凹槽是交錯分布的，即一側面的扇形凹槽對應另一側面的未刻蝕的直平面，從總體看形成波浪形狀；任意相鄰兩個含有扇形凹槽的長條微結構之間形成微通道的相對的兩側面是扇形凹槽相對扇形凹槽、未刻蝕的直平面相對未刻蝕的直平面；

所述的含有三角凹槽的長條微結構與含有扇形凹槽的長條微結構相同，只是將扇形凹槽替換為三角形凹槽；

錯位復雜微通道區域(5)的頂面與基板正面四周的凸起齊平；

流體入口和出口與流體在通道里的流動方向垂直。

2.按照權利要求1的一種流體強制對流錯位復雜微通道微型換熱器，其特征在于，通道的高度大于200微米，通道高度大于基板底層的厚度。