[發明專利]線性掃描總成

在審

• 申請號: 201410201621.6
• 申請日: 2014-05-13
• 公開（公告）號: CN104422701A
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 蔡政道
• 申請（專利權）人: 政美應用股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 上海一平知識產權代理有限公司 31266
• 代理人: 須一平

技術領域

本發明關于一種線性掃描總成，特別是關于一種可快速掃描、且具有高解析度的線性掃描總成。

背景技術

在現有的圓片檢測方式中，多是將圓片載入光學檢測儀器后，再以人工的方式檢視光學檢測儀器上的圓片內的芯片單元。不過，由于此種方式主要是依據人工的方式判別并記錄圓片上的缺陷，故檢測速度較慢。

另一方面，考量到成本因素，人工檢測方式大多采用抽樣檢測的方式為之。如此一來，此種檢測方式將具有以下的缺點：首先，對于整體成品率的提升有其限制；另一方面，此種人工方式的檢測作業，難免存在人為疏漏；最后，人工檢測的效率通常較低下且提高了整體的檢測成本。

有鑒于此，如何提高圓片的檢測效率并改善上述缺失，乃為此一業界亟待解決的問題。

發明內容

本發明的一目的在于提供一種可以快速掃描圓片并具有高解析影像的線性掃描總成。

為達上述目的，本發明的一種線性掃描總成包含一承載平臺、一線性掃描裝置及一線性光源。承載平臺具有一通孔，圓片適于設置于通孔上，使承載平臺可移動地承載圓片。線性掃描裝置設置于承載平臺上方，且線性光源設置于承載平臺下方，用以發射一線性光束以經由通孔穿透圓片。

其中，線性掃描裝置適于接收穿透圓片的線性光束，以完成圓片的掃描檢測作業。

為達上述目的，本發明的線性掃描總成所具有的承載平臺適于沿一水平方向或一垂直方向移動。

為達上述目的，本發明的線性掃描總成所具有的線性光源，其所發射的線性光束直接穿透圓片。

為達上述目的，本發明的線性掃描總成所具有的線性光源，其所發射的線性光束經由一反射元件反射后，間接穿透圓片。

為達上述目的，本發明的反射元件為一反射鏡。

為達上述目的，本發明的圓片為雙拋片圓片或LED圓片。

為達上述目的，本發明的線性掃描裝置為一線性掃描攝影機，且該線性掃描攝影機具有4K、8K、12K及16K等解析度。

為讓上述目的、技術特征、和優點能更明顯易懂，下文以較佳實施例配合所附圖示進行詳細說明。

附圖說明

圖1為本發明線性掃描總成的立體示意圖；

圖2為本發明線性掃描總成另一視角的立體示意圖；及

圖3為本發明線性掃描總成進行掃描作業的示意圖。

具體實施方式

本發明關于一種用以對一圓片200進行掃描檢測作業的線性掃描總成100。

請同時參閱圖1及圖2，本發明的線性掃描總成100包含一承載平臺110、一線性掃描裝置120及一線性光源130。其中，承載平臺110具有一通孔112，欲進行掃描檢測的圓片200適于設置于通孔112上，且承載平臺110可移動地承載圓片200。

如圖所示，線性掃描裝置120較佳地設置于承載平臺110上方，同時線性光源130相對于線性掃描裝置120，設置于承載平臺110下方，使線性光源130可用以發射一線性光束以經由通孔112穿透圓片200。如此一來，線性掃描裝置120將可在承載平臺110上方接收穿透圓片200的線性光束并進行分析，以完成圓片200的掃描檢測作業。

謹針對承載平臺110、線性掃描裝置120及線性光源130在進行掃描檢測作業時，其彼此間的空間動作關系進行說明如下：

請一并參閱圖3，在如圖所示的一較佳實施例中，在進行掃描檢測作業時，線性掃描裝置120與線性光源130為固定不動，而僅使承載平臺110沿一水平方向或一垂直于線性光束的方向移動，使線性光源130所發射的線性光束可沿一特定方向完整地掃描過整片圓片200。

并且，考量空間設置因素，在圖2所示的一較佳實施例中，線性光源130平行于承載平臺110，并設置于承載平臺110下方。如此一來，當線性光源130發射線性光束時，線性光束將會先以平行于承載平臺110的方向前進，而為一反射元件140反射后，再間接穿透圓片200，被線性掃描裝置120所接收。

換言之，藉由前述的設置方式，當線性掃描裝置120與線性光源130為固定不動，而僅承載平臺110平行移動時，便能夠達到使線性光源130所發射的線性光束可沿特定方向完整地掃描過整片圓片200的目的。