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[發明專利]一種判斷體鐵測試值可信度的方法有效

專利信息
申請號: 201410200552.7 申請日: 2014-05-13
公開(公告)號: CN103983540A 公開(公告)日: 2014-08-13
發明(設計)人: 劉耀琴;王艾;周文飛;王建勛 申請(專利權)人: 北京七星華創電子股份有限公司
主分類號: G01N13/00 分類號: G01N13/00;H01L21/66
代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吳世華;林彥之
地址: 100016 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 判斷 測試 可信度 方法
【權利要求書】:

1.一種判斷體鐵測試值可信度的方法,其特征在于,包括以下步驟:?

S1、選取一組可信硅片,采用SPV法分別測量該組硅片光照前少子的擴散長度Lbefore1、Lbefore2…Lbeforen、光照后少子的擴散長度Lafter1、Lafter2…Laftern后,計算出可信硅片的體鐵值NFe1、NFe2…NFen;?

S2、計算S1可信硅片組的體鐵值與光照前擴散長度的相關系數Rb及體鐵值與光照后擴散長度的相關系數Ra;?

S3、提供待測單枚硅片,采用SPV法測量待測硅片光照前少子的擴散長度Lbefore(n+1)和光照后少子的擴散長度Lafter(n+1),如待測硅片光照前少子的擴散長度小于光照后少子的擴散長度,則判斷體鐵值不可信,如待測硅片光照前少子的擴散長度大于光照后少子的擴散長度,則判斷體鐵值可信并進一步計算出待測硅片的體鐵值NFe(n+1);?

S4、將S3中待測單枚硅片放入S1可信硅片組中,計算該組硅片的體鐵值與光照前擴散長度的相關系數R′b及該組硅片的體鐵值與光照后擴散長度的相關系數R′a;?

S5、比對S2中Rb和S4中R′b的數值及比對S2中Ra和S4中R′a的數值,如Rb和R′b之間的數值越接近且Ra和R′a的數值越接近則判斷該待測硅片的體鐵值可信度越高,反之,則判斷該待測硅片的體鐵值可信度越低。?

2.根據權利要求1所述的判斷體鐵測試值可信度的方法,其特征在于,所述步驟S2中Rb的計算公式為:?

其中,Rb為可信硅片組的體鐵值與光照前擴散長度的相關系數,NFei(i=1、2…n)為可信硅片組的體鐵值,為可信硅片組的體鐵值的均值,Lbeforei(i=1、2…n)為可信硅片組的光照前少子的擴散長度,為可信硅?片組的光照前少子的擴散長度的均值;?

所述步驟S2中Ra的計算公式為:?

其中,Ra為可信硅片組的體鐵值與光照后擴散長度的相關系數,NFei(i=1、2…n)為可信硅片組的體鐵值,為可信硅片組的體鐵值的均值,Lafteri(i=1、2…n)為可信硅片組的光照后少子的擴散長度,為可信硅片組的光照后少子的擴散長度的均值。?

3.根據權利要求2所述的判斷體鐵測試值可信度的方法,其特征在于,所述可信硅片組的的計算公式為:?

所述可信硅片組的的計算公式為:?

所述可信硅片組的的計算公式為:?

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