[發明專利]一種判斷體鐵測試值可信度的方法

有效

• 申請號: 201410200552.7
• 申請日: 2014-05-13
• 公開（公告）號: CN103983540A
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 劉耀琴;王艾;周文飛;王建勛
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: G01N13/00
• 分類號: G01N13/00;H01L21/66
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種判斷體鐵測試值可信度的方法，其特征在于，包括以下步驟：?

S1、選取一組可信硅片，采用SPV法分別測量該組硅片光照前少子的擴散長度L_before1、L_before2…L_beforen、光照后少子的擴散長度L_after1、L_after2…L_aftern后，計算出可信硅片的體鐵值N_Fe1、N_Fe2…N_Fen；?

S2、計算S1可信硅片組的體鐵值與光照前擴散長度的相關系數R_b及體鐵值與光照后擴散長度的相關系數R_a；?

S3、提供待測單枚硅片，采用SPV法測量待測硅片光照前少子的擴散長度L_before(n+1)和光照后少子的擴散長度L_after(n+1)，如待測硅片光照前少子的擴散長度小于光照后少子的擴散長度，則判斷體鐵值不可信，如待測硅片光照前少子的擴散長度大于光照后少子的擴散長度，則判斷體鐵值可信并進一步計算出待測硅片的體鐵值N_Fe(n+1)；?

S4、將S3中待測單枚硅片放入S1可信硅片組中，計算該組硅片的體鐵值與光照前擴散長度的相關系數R′_b及該組硅片的體鐵值與光照后擴散長度的相關系數R′_a；?

S5、比對S2中R_b和S4中R′_b的數值及比對S2中R_a和S4中R′_a的數值，如R_b和R′_b之間的數值越接近且R_a和R′_a的數值越接近則判斷該待測硅片的體鐵值可信度越高，反之，則判斷該待測硅片的體鐵值可信度越低。?

2.根據權利要求1所述的判斷體鐵測試值可信度的方法，其特征在于，所述步驟S2中R_b的計算公式為：?

其中，R_b為可信硅片組的體鐵值與光照前擴散長度的相關系數，N_Fei(i＝1、2…n)為可信硅片組的體鐵值，為可信硅片組的體鐵值的均值，L_beforei(i＝1、2…n)為可信硅片組的光照前少子的擴散長度,為可信硅?片組的光照前少子的擴散長度的均值；?

所述步驟S2中R_a的計算公式為：?

其中，R_a為可信硅片組的體鐵值與光照后擴散長度的相關系數，N_Fei(i＝1、2…n)為可信硅片組的體鐵值，為可信硅片組的體鐵值的均值，L_afteri(i＝1、2…n)為可信硅片組的光照后少子的擴散長度,為可信硅片組的光照后少子的擴散長度的均值。?

3.根據權利要求2所述的判斷體鐵測試值可信度的方法，其特征在于，所述可信硅片組的的計算公式為：?

所述可信硅片組的的計算公式為：?

所述可信硅片組的的計算公式為：?