[發(fā)明專利]半導(dǎo)體設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410199497.4
• 申請日: 2014-05-12
• 公開（公告）號: CN103966663A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陸愛軍;鄒毅;王海紅
• 申請（專利權(quán)）人: 上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造股份有限公司
• 主分類號: C30B25/14
• 分類號: C30B25/14;H01L21/67
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，包括：

腔體；

第一管道，設(shè)置于所述腔體的下方，所述第一管道的一端連接所述腔體，所述第一管道的另一端密封，所述第一管道的側(cè)壁具有一開孔；

第二管道，所述第二管道的一端連接所述開孔；以及

干泵，連接所述第二管道的另一端。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體設(shè)備還包括一收集部，所述收集部可拆卸的安裝在所述第一管道的另一端。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述收集部為兩端開口的管道狀，所述收集部的一端通過一第一密封圈和一第一卡套與所述第一管道的另一端密封連接，所述收集部的另一端通過一第二密封圈和一可拆卸悶蓋進(jìn)行密封。

4.如權(quán)利要求1-3中任意一項所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第二管道包括第一部分和第二部分，所述第一部分和第二部分之間可拆卸密封連接，所述第一部分連接所述開孔，所述第二部分連接所述干泵。

5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第一部分的長度小于等于30cm。

6.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第一部分通過一第三密封圈和一第二卡套與第二部分之間可拆卸密封連接。

7.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述開孔與所述第一管道的一端的距離大于所述開孔與所述第一管道的另一端的距離。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述開孔與所述第一管道的另一端的距離為50cm～80cm。

9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第一管道為直管型，并垂直于所述腔體設(shè)置。

10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第二管道相對于所述第一管道呈傾斜設(shè)置，所述第二管道向靠近所述第一管道的另一端的方向傾斜。

11.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第一管道的長度為300cm～800cm。

12.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第二管道的長度為50cm～200cm。

13.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述第二管道的管道直徑小于等于所述第一管道的管道直徑。