[發明專利]部分相干多模高斯光束的產生系統、產生方法及測量裝置

有效

• 申請號: 201410198159.9
• 申請日: 2014-05-12
• 公開（公告）號: CN103941407A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 梁春豪;王飛;劉顯龍;蔡陽健
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09;G02B27/28
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

1.一種部分相干多模高斯光束的產生系統，其特征在于，所述產生系統依次包括：激光器、第一線偏振片、第一偏振分光鏡、衰減片、第一平面鏡、第二平面鏡、擴束鏡、第二偏振分光鏡、第二線偏振片、聚焦透鏡、圓形光闌、旋轉毛玻璃片、準直凸透鏡和高斯濾波片，所述衰減片和第一平面鏡位于第一偏振分光鏡的透射光路上，所述第二平面鏡和擴束鏡位于第一偏振分光鏡的反射光路上，所述旋轉毛玻璃片表面包括若干顆粒，顆粒大小遵從高斯統計分布。

2.根據權利要求1所述的產生系統，其特征在于，所述擴束鏡的擴大系數為可連續性調節，且所述擴束鏡不對光強分布進行改變。

3.一種如權利要求1所述的部分相干多模高斯光束的產生方法，其特征在于，所述方法包括：

S1、激光器發出準直高斯光束，經由第一線偏振片后產生線偏振的高斯光束；

S2、線偏振的高斯光束，通過第一偏振分光鏡后，產生兩束偏振方向相互垂直且傳輸方向也相互垂直的透射光束和反射光束，透射光束通過衰減片，再通過第一平面鏡反射到第二偏振分光鏡上，反射光束通過第二平面鏡反射，再經過擴束鏡對光斑進行擴大，到達第二偏振分光鏡上，兩束偏振互相垂直的高斯光束通過第二偏振分光鏡合成得到合成光束；

S3、合成光束通過第二線偏振片，經聚焦透鏡匯聚并經過圓形光闌截取理想光束，打在旋轉毛玻璃片上；

S4、通過旋轉毛玻璃片后產生的部分相干光經過準直凸透鏡準直，經過準直后輸出的光束通過高斯濾波片的整型濾波，即可得到部分相干多模高斯光束。

4.根據權利要求3所述的產生方法，其特征在于，所述步驟S3還包括：

通過改變會聚焦透鏡與旋轉毛玻璃片之間的距離，調節所產生光束的相干長度的大小。

5.根據權利要求3所述的產生方法，其特征在于，所述步驟S2還包括：

通過對衰減片的調節，使反射光束和透射光束的光強度大小相等；

通過擴束鏡對反射光束進行擴束，使反射光束和透射光束的光斑尺寸為2:1.]]>