[發明專利]一種平面光波導振動傳感器芯片懸臂梁的制作方法

無效

• 申請號: 201410197243.9
• 申請日: 2014-05-12
• 公開（公告）號: CN103954347A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 高仁喜;孫正和;夏正娜
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學（威海）
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 威海科星專利事務所 37202
• 代理人: 王元生

1.一種平面光波導振動傳感器芯片懸臂梁的制作方法，其以玻璃襯底上的平面光波導分路芯片為基材，所述平面光波導分路芯片設有輸入分路光波導、輸出分路光波導；其特征是：首先清洗平面光波導分路芯片的上下兩表面，將平面光波導分路芯片的上表面作為懸臂梁的上表面，采用水輔助飛秒激光加工法在平面光波導分路芯片上加工懸臂梁，分別在每條輸入分路光波導的兩側挖出一對等長的與輸入分路光波導平行的縱向凹槽，而后在輸入分路光波導所在芯層區域之下，兩側縱向凹槽底端所在平面之上切割出一個矩形底部間隙，使兩側的縱向凹槽在底部連通；最后在兩側的縱向凹槽的前端挖出一條連通兩側縱向凹槽的橫向凹槽，所述縱向凹槽、橫向凹槽、矩形底部間隙包圍的中間區域形成可自由振動的懸臂梁。

2.根據權利要求1所述的平面光波導振動傳感器芯片懸臂梁的制作方法，其特征是：所述懸臂梁的厚度為80微米，懸臂梁前端的橫向凹槽的寬度為10～20微米。

3.根據權利要求1所述的平面光波導振動傳感器芯片懸臂梁的制作方法，其特征是：所述清洗平面光波導分路芯片的上下兩表面是將玻璃襯底上的平面光波導分路芯片依次置于丙酮、去離子水、酒精中，用功率40瓦的超聲波清洗，再放入真空干燥箱中，在80℃恒溫條件下加熱半小時，冷卻后，再用酒精清洗平面光波導分路芯片的上下兩表面。

4.根據權利要求1所述的平面光波導振動傳感器芯片懸臂梁的制作方法，其特征是：所述平面光波導分路芯片的上表面朝上放置在透明的平底容器內，平面光波導分路芯片被平底容器內的水淹沒，飛秒激光自下而上透過平底容器底面入射。

5.根據權利要求1所述的平面光波導振動傳感器芯片懸臂梁的制作方法，其特征是：平面光波導分路芯片的上表面朝下放置在透明的平底容器內，平面光波導分路芯片浸泡在平底容器內的水中,但平面光波導分路芯片的下表面露出水面，飛秒激光自上而下入射。

6.根據權利要求1所述的平面光波導振動傳感器芯片懸臂梁的制作方法，其特征是：縱向凹槽和橫向凹槽的挖出是從平面光波導分路芯片的上表面開始往芯片內部方向由淺入深逐層進行。