[發明專利]旋轉陰極磁棒及具有旋轉陰極磁棒的旋轉靶材

有效

• 申請號: 201410197122.4
• 申請日: 2014-05-12
• 公開（公告）號: CN103993276A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發明（設計）人: 趙軍;劉鈞;陳金良;許倩斐
• 申請（專利權）人: 浙江上方電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 湖州金衛知識產權代理事務所(普通合伙) 33232
• 代理人: 趙衛康

1.旋轉陰極磁棒，包括磁棒支架及分布在其表面的磁鐵，其特征在于，

所述磁鐵包括設置在所述磁棒支架端部區的有按照至少一種排列曲率分布的第一組磁鐵；

以及設置在所述磁棒支架中部區的第二組磁鐵；

所述第一、第二組磁鐵由多塊方形磁鐵組成。

2.根據權利要求1所述的旋轉陰極磁棒，其特征在于，所述第一、第二組磁鐵中的磁鐵分別固定排列在所述磁棒支架的表面，磁鐵表面按照圓弧輪廓設計。

3.根據權利要求2所述的旋轉陰極磁棒，其特征在于，所述第一組磁鐵中的多塊磁鐵在磁棒支架端部區按不同排列曲率排列成在V型和┕┙型之間變化的任一弧度的U型。

4.根據權利要求3所述的旋轉陰極磁棒，其特征在于，所述第二組磁鐵包括奇數N列磁場方向垂直于所述磁棒支架表面的磁鐵以及偶數N-1列磁場方向平行于所述磁棒支架表面的磁鐵；磁場方向垂直于所述磁棒支架表面的N列磁鐵與磁場方向平行于所述磁棒支架表面的N-1列磁鐵交替且平行分布在所述磁棒支架的中部區;?磁場方向垂直于所述磁棒支架表面的N列磁鐵中的相鄰列磁鐵極性相反，而同一列上相鄰磁鐵極性相同；磁場方向平行于所述磁棒支架表面的N-1列磁鐵中的相鄰列磁鐵極性相反，而同一列上相鄰磁鐵極性相同。

5.根據權利要求4所述的旋轉陰極磁棒，其特征在于，所述磁棒支架為非磁性材料制成的棒。

6.根據權利要求5所述的旋轉陰極磁棒，其特征在于，所述第一組磁鐵中的磁鐵尺寸比所述第二組磁鐵中的磁鐵尺寸小。

7.安裝有前述權利要求2-6之一旋轉陰極磁棒的旋轉靶材，所述靶材內部有靶材背管和一根或兩根設置于旋轉靶材內部的磁棒，其特征在于，按照圓弧輪廓排列的第一、第二組磁鐵的圓弧面半徑小于靶材背管的內表面圓弧面半徑。

8.根據權利要求7所述的旋轉靶材，其特征在于，所述第一組磁體構成的彎曲磁場的平行于靶材表面方向分量的磁場強度為所述第二組磁鐵構成的平行磁場的平行于靶材表面方向分量的磁場強度的20%~40%。

9.根據權利要求8所述的旋轉靶材，其特征在于，所述第二組磁鐵構成的平行磁場的平行于靶材表面方向分量的最大磁場強度為300-1200高斯。

10.根據權利要求9所述的旋轉靶材，所述彎曲磁場及平行磁場的磁場強度可通過選用不同的磁鐵材料型號、寬度和厚度來調節。