[發(fā)明專利]測(cè)量抽樣方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410196529.5
• 申請(qǐng)日: 2014-05-09
• 公開（公告）號(hào): CN104952753B
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭芳田;陳俊方;黃暄恒;吳竺潔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鄭芳田
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司31100
• 代理人: 駱希聰

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)于一種測(cè)量抽樣方法，且特別是有關(guān)于一種可降低抽測(cè)率的測(cè)量抽樣方法。

背景技術(shù)

目前大部分半導(dǎo)體及TFT-LCD廠對(duì)于生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的產(chǎn)品或工件(Workpiece)的品質(zhì)監(jiān)測(cè)方法是采取抽測(cè)的方式，其中此工件可為半導(dǎo)體業(yè)的晶圓或TFT-LCD業(yè)的玻璃基板。一般，在制程機(jī)臺(tái)每處理過N個(gè)(例如：25個(gè))工件后，制造系統(tǒng)會(huì)指定第N個(gè)工件為一預(yù)期被測(cè)量的工件，即抽測(cè)率為1/N。此預(yù)期被測(cè)量的工件會(huì)被送至測(cè)量機(jī)臺(tái)進(jìn)行測(cè)量，以檢視制程機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)品質(zhì)。此種已知的抽樣方法是假設(shè)制程機(jī)臺(tái)的制程品質(zhì)不會(huì)突然發(fā)生異常，因而可使用被抽測(cè)的產(chǎn)品或工件的測(cè)量結(jié)果來推斷同一批工件的品質(zhì)。由于工件實(shí)際測(cè)量所需的測(cè)量時(shí)間和測(cè)量工具會(huì)增加生產(chǎn)周期時(shí)間(Cycle Time)和生產(chǎn)成本。因此，為減少生產(chǎn)周期時(shí)間和生產(chǎn)成本，如何盡可能地降低抽測(cè)率便成為生產(chǎn)者的重要課題。

另一方面，虛擬測(cè)量技術(shù)可用來減少工件實(shí)際測(cè)量的頻率，而降低抽測(cè)率。然而，若原先未排定要被測(cè)量的工件在生產(chǎn)時(shí)發(fā)生變異，則可能會(huì)因此發(fā)生變異的期間無實(shí)際測(cè)量資料可用來更新虛擬測(cè)量模型，而導(dǎo)致產(chǎn)生虛擬測(cè)量預(yù)測(cè)精度不良的結(jié)果。因此，如何及時(shí)抽測(cè)到適當(dāng)?shù)墓ぜP(guān)著虛擬測(cè)量模型的預(yù)測(cè)精度。

因此，必須要提供一種測(cè)量抽樣方法，借以克服上述的已知技術(shù)的缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的一目的是在提供一種測(cè)量抽樣方法，借以降低工件測(cè)量抽測(cè)率。

本發(fā)明的又一目的是在提供一種測(cè)量抽樣方法，借以及時(shí)提供工件的實(shí)際測(cè)量值，來調(diào)?；蛑匦掠?xùn)練虛擬測(cè)量模型，以確保虛擬測(cè)量的精度。

根據(jù)本發(fā)明的上述目的，提出一種測(cè)量抽樣方法。在此測(cè)量抽樣方法中，首先收集制程機(jī)臺(tái)處理多個(gè)歷史工件所使用的多組歷史制程資料。然后，進(jìn)行建模步驟。在此建模步驟中，根據(jù)歷史制程資料來建立一DQI_X(Process Data Quality Index；制程資料品質(zhì)指標(biāo))模型和一GSI(Global Similarity Index；整體相似度指標(biāo))模型，并計(jì)算出一DQI_X門檻值和一GSI門檻值。然后，進(jìn)行測(cè)量工件取樣步驟。在此測(cè)量工件取樣步驟中，提供一工件至制程機(jī)臺(tái)，制程機(jī)臺(tái)具有處理此工件的一組制程資料。接著，輸入制程資料至DQI_X模型和GSI模型中，以獲得此工件的制程資料的一DQI_X值和一GSI值。當(dāng)此工件的DQI_X值大于DQI_X門檻值時(shí)，不對(duì)此工件進(jìn)行測(cè)量。當(dāng)此工件的DQI_X值小于或等于DQI_X門檻值時(shí)，檢查此工件是否為預(yù)期被測(cè)量工件，并獲得第一檢查結(jié)果。當(dāng)?shù)谝粰z查結(jié)果為是時(shí)，對(duì)此工件進(jìn)行測(cè)量。當(dāng)?shù)谝粰z查結(jié)果為否時(shí)，檢查此工件的GSI值是否小于或等于GSI門檻值并獲得第二檢查結(jié)果。當(dāng)?shù)诙z查結(jié)果為是時(shí)，不對(duì)此工件進(jìn)行測(cè)量。

根據(jù)本發(fā)明的上述目的，另提出一種測(cè)量抽樣方法。在此測(cè)量抽樣方法步驟中，設(shè)定一預(yù)設(shè)工件取樣率1/N，預(yù)設(shè)工件取樣率為在一制程機(jī)臺(tái)每處理過N個(gè)工件后選取第N個(gè)工件為一預(yù)期被測(cè)量的工件。在此測(cè)量抽樣方法的測(cè)量工件取樣步驟中，對(duì)一工件計(jì)數(shù)加1。然后，進(jìn)行第一檢查步驟，以檢查一工件的DQI_X值是否小于或等于DQI_X門檻值而獲得第一檢查結(jié)果。當(dāng)?shù)谝粰z查結(jié)果為否時(shí)，不對(duì)此工件進(jìn)行測(cè)量。當(dāng)?shù)谝粰z查結(jié)果為是時(shí)，進(jìn)行第二檢查步驟，以檢查工件計(jì)數(shù)是否大于或等于N而獲得第二檢查結(jié)果。當(dāng)?shù)诙z查結(jié)果為是時(shí)，對(duì)此工件進(jìn)行測(cè)量并設(shè)定工件計(jì)數(shù)為0。當(dāng)?shù)诙z查結(jié)果為否時(shí)，進(jìn)行第三檢查步驟，以檢查此工件的GSI值是否小于或等于GSI門檻值，而獲得第三檢查結(jié)果。當(dāng)?shù)谌龣z查結(jié)果為是時(shí)，不對(duì)此工件進(jìn)行測(cè)量。

因此，應(yīng)用本發(fā)明實(shí)施例，可有效地降低工件測(cè)量抽測(cè)率，并確保虛擬測(cè)量的精度。

附圖說明

為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、優(yōu)點(diǎn)與實(shí)施例能更明顯易懂，所附圖式的說明如下：

圖1為繪示說明本發(fā)明實(shí)施例的信心指標(biāo)值的示意圖。

圖2為繪示說明本發(fā)明實(shí)施例的信心指標(biāo)門檻值的示意圖。

圖3為繪示本發(fā)明實(shí)施例的測(cè)量抽樣方法的流程示意圖。

圖4為繪示本發(fā)明實(shí)施例的測(cè)量工件取樣步驟的流程示意圖。

圖5為繪示本發(fā)明實(shí)施例的虛擬測(cè)量方法的流程示意圖。

圖中元件標(biāo)號(hào)說明：

110 設(shè)定預(yù)設(shè)工件取樣率1/N