[發(fā)明專利]基于能量損失聚焦成像的帶電粒子照相裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410196408.0 | 申請日： | 2014-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN104034740A | 公開（公告）日： | 2014-09-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊國君;魏濤;張卓;李一丁;張小丁;江孝國;石金水 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國工程物理研究院流體物理研究所 |
| 主分類號： | G01N23/00 | 分類號： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 621000*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 能量 損失 聚焦 成像 帶電 粒子 照相 裝置 | ||
1.基于能量損失聚焦成像的帶電粒子照相裝置，包括束流傳輸線和光學(xué)成像系統(tǒng)，其特征在于，束流傳輸線分成軸對稱分布的前半段和后半段，所述光學(xué)成像系統(tǒng)位于束流傳輸線末端；所述前半段由包括能量準(zhǔn)直器的第二聚焦段，位于第二聚焦段前、后的第一聚焦段和第三聚焦段組成，所述第一聚焦段和第二聚焦段之間、第二聚焦段和第三聚焦段之間分別設(shè)置有第一偏轉(zhuǎn)磁鐵和第二偏轉(zhuǎn)磁鐵，所述前半段的傳輸矩陣為六階矩陣A：?
傳輸矩陣A滿足色散消除條件：A12＝0、A26＝0、A21＝0、A34＝0、A43＝0；前、后下標(biāo)分別表示該元素所在的行、列。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于能量損失聚焦成像的帶電粒子照相裝置，其特征在于，通過在各個聚焦段設(shè)置四極磁鐵使得傳輸矩陣A滿足色散消除條件。?
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于能量損失聚焦成像的帶電粒子照相裝置，其特征在于，所述能量準(zhǔn)直器由兩塊平行金屬板組成。?
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于能量損失聚焦成像的帶電粒子照相裝置，其特征在于，所述光學(xué)成像系統(tǒng)由光電轉(zhuǎn)換屏和CCD相機組成。?
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中國工程物理研究院流體物理研究所，未經(jīng)中國工程物理研究院流體物理研究所許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410196408.0/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
