[發(fā)明專利]一種生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410194869.4
• 申請日: 2014-05-10
• 公開（公告）號: CN103951283A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭壽;王東;金良茂;石麗芬;單傳麗;張家林;王蕓;馬立云;甘治平
• 申請（專利權(quán)）人: 蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院;中國建材國際工程集團(tuán)有限公司
• 主分類號: C03C17/34
• 分類號: C03C17/34
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標(biāo)事務(wù)所 34113
• 代理人: 楊晉弘

1.一種生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）.在玻璃生產(chǎn)線的退火窯內(nèi)，將含有硅烷、含氧源的氣態(tài)屏蔽層前驅(qū)體以惰性氣體為載體，通入到溫度為460～480℃的玻璃表面上，利用激光束在高于玻璃表面0.8mm-2.0mm范圍內(nèi)平行入射，使氣態(tài)屏蔽層前驅(qū)體光致解離發(fā)生化學(xué)氣相反應(yīng)，在玻璃表面沉積形成厚度為50～90nm的屏蔽層；

（2）.在玻璃生產(chǎn)線的退火窯內(nèi)，玻璃溫度為435～455℃的范圍內(nèi)，將含有預(yù)制氣化的鋅源、鋁源、含氧源的氣態(tài)導(dǎo)電層前驅(qū)體以惰性氣體為載體，通入到已經(jīng)沉積有屏蔽層的玻璃表面上，利用激光束在高于玻璃表面0.8mm-2.0mm范圍內(nèi)平行入射，使氣態(tài)導(dǎo)電層前驅(qū)體光致解離發(fā)生化學(xué)氣相反應(yīng)，在玻璃表面形成厚度為250～400nm的導(dǎo)電層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的方法，其特征在于，所述硅烷、含氧源、惰性氣體的摩爾百分?jǐn)?shù)是：硅烷3～12mol%，含氧源20～70%，其余為惰性氣體；含氧源是氧化二氮、二氧化氮或二氧化碳中的一種；所述鋅源、鋁源、含氧源、惰性氣體的摩爾百分?jǐn)?shù)是：鋅源1～15mol%，鋁源0.2～3mol%，含氧源20～70%，其余為惰性氣體；所述含氧源是氧化二氮、二氧化氮或二氧化碳中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的方法，其特征在于，所述的鋅源、鋁源是該金屬的甲基金屬化合物、羰基金屬化合物、帶金屬碳鍵的金屬絡(luò)合物或金屬鹵素化合物中的一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的方法，其特征在于，所述的惰性氣體為氮?dú)饣驓鍤狻?/p>

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)透明導(dǎo)電膜玻璃的方法，其特征在于，所述的激光束用掩膜版精確限定其水平方向下部邊界，使激光束下邊界與玻璃帶表面的距離控制在0.8～2mm之間，以保證氣相反應(yīng)盡可能在靠近玻璃表面進(jìn)行，同時(shí)避免激光對薄膜和玻璃表面的損傷。