[發明專利]一種2450MHz頻段低外觀品質因數的連續波磁控管

在審

• 申請號: 201410193946.4
• 申請日: 2014-05-08
• 公開（公告）號: CN105097389A
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: 楊宋寒;劉友春;袁正勇;王榮川;吳云龍;張躍;孫陵斌
• 申請（專利權）人: 南京三樂微波技術發展有限公司
• 主分類號: H01J25/50
• 分類號: H01J25/50;H01J23/00;H01J23/12;H01J23/14
• 代理公司: 南京理工大學專利中心 32203
• 代理人: 朱顯國

技術領域

本發明涉及微波加熱設備配套的真空器件技術領域，具體而言涉及一種2450MHz頻段低外觀品質因數的連續波磁控管。

背景技術

現有技術中，在2450MHz頻段，普通連續波磁控管為了提高輸出功率，往往忽視了對頻率穩定性的設計，因此磁控管工作時頻率很不穩定。目前，對2450MHz頻段連續波磁控管的頻率控制主要依靠冷測裝配焊接腔體組合后對大小隔型帶尺寸的調整來控制，因現有技術對頻率的設計要求不高，因此在實際生產中磁控管的頻率離散型較大，在2450MHz±30MHz左右。

隨著微波技術的不斷發展，在很多新興領域也得到了應用，如微波等離子體技術。在微波等離子體應用中，如果磁控管的頻率不穩定，就會造成等離子體火炬火焰不集中，直接降低了物料的加熱溫度和生產效率；同時，隨著注入鎖頻技術被引入連續波磁控管的制造，現有的磁控管頻率控制遠不能滿足微波等離子體技術和注入鎖頻技術對磁控管頻率的技術要求，即需要達到2450MHz±2.5MHz。為此，急需一種改進的高頻率穩定度的連續波磁控管，以滿足不同行業對連續波磁控管的特殊需求。

發明內容

本發明目的在于提供一種頻率穩定度高、微波泄漏少、安全性能高的2450MHz頻段低外觀品質因數的連續波磁控管。

為達成上述目的，本發明所采用的技術方案如下：

一種2450MHz頻段低外觀品質因數的連續波磁控管，包括腔體組合、輸出窗組合、引線組合和散熱器，其中：

所述腔體組合由以下部分組成：圓柱形腔體；位于圓柱形腔體內的并呈瓣狀分布的多個腔體翼片，腔體翼片的水路結構構成V型水路冷卻結構；設置在圓柱形腔體外周的水冷套，水冷套內圍繞所述圓柱形腔體設有帶孔的隔水環；設置在圓柱形腔體內部兩端、用于增加模式分割度的大、小隔型帶，大隔型帶位于小隔型帶的外周并具有一間隙；插入所述水冷套內并用于冷卻水注入和排出的水管；以及連接在腔體翼片上的輸出天線；

所述輸出窗組合與腔體組合的一端連接并形成密封結構，所述輸出天線的另一端位于所述輸出窗組合的內部并且不接觸輸出窗組合的內壁；

腔體組合的另外一端與所述引線組合焊接，所述引線組合上遠離腔體組合的位置焊接有散熱器。

進一步的實施例中，所述腔體翼片在沿所述瓣狀分布方向的內部形成有狹孔，所述腔體翼片之間的狹孔與所述水冷套構成水冷卻通道，且相鄰腔體翼片之間的狹孔構成所述V型水路冷卻結構。

進一步的實施例中，所述水管包括進水管和出水管，進水管插入所述水冷套內并延伸穿過所述隔水環，所述出水管插入所述水冷套并向內延伸至不超過所述隔水環的位置。

進一步的實施例中，所述大隔型帶與小隔型帶之間的距離值在0.7mm～0.8mm。

進一步的實施例中，所述輸出天線的直徑值在4.5mm～5.5mm，所述輸出天線在伸出所述腔體的高度值在39mm～41mm。

進一步的實施例中，所述輸出天線與大隔型帶的間距值為0mm～0.4mm。

進一步的實施例中，所述輸出窗組合包括蓋和輸出窗，輸出窗為陶瓷材料制作成一U形狀結構，該U形結構的開口與蓋連接，所述蓋與一下級靴連接形成密封結構，所述輸出天線的一端與腔體翼片連接，其另一端伸入該U形結構的開口內部。

進一步的實施例中，所述引線組合包括引線桿、屏蔽帽、燈絲、上級靴、扼流筒、支持筒、定位瓷、瓷筒、上蓋以及排氣管，其中：所述屏蔽帽、燈絲、上級靴、扼流筒、支持筒、定位瓷、瓷筒、上蓋圍繞所述引線桿設置并以該引線桿為中心線，所述燈絲位于兩個屏蔽帽之間，所述一個屏蔽帽卡在所述上級靴上，上級靴的另一側依次固定安裝扼流筒、支持筒以及位于其內部的定位瓷，所述瓷筒與支持筒連接，所述上蓋位于瓷筒的另一端，所述排氣管伸出所述上蓋。

由以上本發明的技術方案可知，本發明所提出的2450MHz頻段低外觀品質因數的連續波磁控管，與現有技術相比，其有益效果在于：

1、采用V型水冷結構，與散熱器結合，提高散熱效果，優化陽極結構設計；

2、采用陶瓷輸出窗結構，具有耐溫度沖擊，密封性能好等優點；

3、采用軸向天線輸出結構，提高微波能的輸出效率；

4、采用優化設計的引線結構，頻率穩定度高，微波泄漏少，工作穩定性好；

5、采用優化的隔型帶間距設計、輸出結構設計，確保整個磁控管的低Qe值、高頻率穩定度和較好的工作穩定性。

附圖說明

圖1為本發明一實施方式2450MHz頻段低外觀品質因數的連續波磁控管的結構示意圖。