[發明專利]應變傳感器

有效

• 申請號: 201410192680.1
• 申請日: 2014-05-08
• 公開（公告）號: CN104142118B
• 公開（公告）日: 2017-07-07
• 發明（設計）人: 鈴木克典;榊原慎吾;谷高幸司;奧宮保郎;杉浦正浩;井上翼
• 申請（專利權）人: 雅馬哈株式會社;國立大學法人靜岡大學
• 主分類號: G01B7/16
• 分類號: G01B7/16
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 張濤

1.一種應變傳感器，其具備：

基板，其具有柔軟性；

CNT膜，其設置于所述基板的表面，且具有沿一個方向取向的多條CNT纖維；

一對電極，其設置于所述CNT膜的所述CNT纖維的取向方向的兩端，

所述CNT膜具有由多條所述CNT纖維構成的多個CNT纖維束、以及包覆所述多個CNT纖維束的周面且與所述基板的所述表面接合的樹脂層，

在所述CNT纖維束內的隨機部位具有切斷部位。

2.如權利要求1所述的應變傳感器，其中，

所述CNT纖維束的內部未含浸所述樹脂層。

3.如權利要求2所述的應變傳感器，其中，

所述樹脂層由水性乳膠形成。

4.如權利要求1～3中任一項所述的應變傳感器，其中，

所述CNT纖維束具有將所述CNT纖維彼此在長度方向上連結的連結部。

5.如權利要求1～3中任一項所述的應變傳感器，其中，

所述切斷部位沿所述多個CNT纖維束的長度方向形成。

6.如權利要求1～3中任一項所述的應變傳感器，其中，

所述CNT膜的膜厚為0.1μm以上50μm以下。

7.如權利要求1所述的應變傳感器，其中，

所述CNT纖維束具有：含浸有所述樹脂層的含浸部、以及圍繞所述含浸部但不含浸所述樹脂層的非含浸部。

8.一種應變傳感器的制造方法，其包括：

在具有柔軟性的基板的表面設置碳納米管(CNT)膜的工序，所述碳納米管(CNT)膜具有由沿一個方向取向的多條CNT纖維構成的多個CNT纖維束；

在所述CNT膜的所述CNT纖維的取向方向的兩端形成一對電極的工序；

在所述CNT膜上形成樹脂層，并使之包覆多個所述CNT纖維束的周面且與所述基板的表面密合的工序，

在所述CNT纖維束的隨機部位形成切斷部位的工序。

9.如權利要求8所述的應變傳感器的制造方法，其中，

在所述CNT膜上形成樹脂層的工序包括將水性乳膠涂布于所述CNT膜的工序，所述水性乳膠以形成所述樹脂層的樹脂為分散質。

10.如權利要求9所述的應變傳感器的制造方法，其中，

所述CNT膜的膜厚為1μm以上50μm以下。

11.如權利要求8所述的應變傳感器的制造方法，其中，

在所述CNT膜上形成樹脂層的工序包括在水性乳膠中浸漬設置于所述基板的表面的所述CNT膜的工序，所述水性乳膠以形成所述樹脂層的樹脂為分散質。

12.如權利要求8～11中任一項所述的應變傳感器的制造方法，其中，

在所述CNT纖維束的隨機部位形成切斷部位的工序如下進行：在所述基板的表面設置所述CNT膜的工序之后，使所述CNT膜沿所述CNT纖維的取向方向伸展。