[發明專利]儲液槽的液體導入管

在審

• 申請號: 201410191024.X
• 申請日: 2014-05-07
• 公開（公告）號: CN105090659A
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: 周道;金一諾;王堅;王暉
• 申請（專利權）人: 盛美半導體設備(上海)有限公司
• 主分類號: F16L43/00
• 分類號: F16L43/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

技術領域

本發明涉及半導體設備中的液體輸送技術，更具體地說，涉及一種儲液槽的液體導入管。

背景技術

在半導體工藝中，需要使用到很多種的液體，因此半導體設備中的液體輸送技術是半導體工藝中重要的一環。圖1a和圖1b揭示了現有技術中使用的儲液槽和液體導入管的結構。圖1a揭示了儲液槽和液體導入管的外觀結構圖，圖1b揭示了儲液槽和液體導入管的剖面結構圖。如圖1a和圖1b所示，現有技術中的結構如下：儲液槽和液體導入管的連接主要通過導管102和轉接口104實現。導管102呈彎折型，通常包括一水平部分121、一豎直部分122以及連接水平部分和豎直部分弧形部分123。轉接口104包括兩個部分，一上端結構141和一下端結構142。下端結構142用于與儲液槽106連接。儲液槽106上開有接口161，下端結構142的底部形成連接管，連接管具有外螺紋，接口161具有內螺紋，內螺紋和外螺紋匹配，下端結構142被固定到儲液槽106上。連接管和接口的螺紋都是符合NPT標準的螺紋。NPT(NationalPipeThread)是一種密封螺紋，通過NPT連接，下端結構142與接口161之間同時實現了密封。下端結構142的中心開有通孔144。上端結構141與下端結構142是一體的，上端結構141用于與導管102連接。上端結構141的中心開有連接孔143，連接孔143的內徑與導管102的豎直部分122的外徑匹配，由于導管102通常具有統一的直徑，因此實際上也可以認為連接孔143的內徑與導管102的直徑匹配。上端結構141是一個旋轉緊固結構，通過旋轉可以使得上端結構141夾緊導管102。參考圖1b所示，現有技術中，通孔144的直徑是小于導管102的直徑(豎直部分122的直徑)，因此，導管102的豎直部分122只能夠延伸到通孔144的頂端，即上端結構141和下端結構142的交界處，這個位置距離儲液槽內的液面108還有相當長的距離。在進行液體導入時，液體在離開導管102之后會沖入液面108，從而形成大量的氣泡110。眾所周知的是，氣泡110在半導體處理工藝中是十分不利的，為了減小氣泡的影響，就必須將液體流量減小，或者在導入液體后等待足夠的時間等氣泡消除。但這些做法無疑都是會影響處理效率的。

發明內容

本發明旨在提出一種儲液槽的液體導入管，能在不影響處理效率的情況下減少導入液體時產生的氣泡。

根據本發明的一實施例，提出一種儲液槽的液體導入管，包括：基座、導管和緊固件?；闹行拈_有通孔，基座頂部外周形成法蘭環，基座的底部安裝在儲液槽的接口上。導管呈彎折型，導管包括豎直部分，豎直部分的外徑與通孔的內徑匹配，豎直部分插入到通孔中，豎直部分延伸至儲液槽中的液面以下。緊固件與導管的豎直部分以及法蘭環緊固連接，緊固件固定導管的位置并密封導管的豎直部分與基座。

在一個實施例中，接口上具有內螺紋，基座的底部具有外螺紋，內螺紋和外螺紋匹配，基座的底部固定于接口上且密封。

在一個實施例中，內螺紋和外螺紋符合NPT標準。

在一個實施例中，緊固件由兩個半圓環型部件構成，兩個半圓環型部件從兩側抱緊導管的豎直部分并連接在一起，兩個半圓環型部件的底部固定在所述法蘭環上。

在一個實施例中，兩個半圓環型部件上開有橫向的螺栓孔且互相對齊，兩個半圓環形部件由螺栓連接。兩個半圓環型部件和法蘭環上開有縱向的螺栓孔且互相對齊，兩個半圓環形部件由螺栓連接至法蘭環。

在一個實施例中，導管的豎直部分的外徑為1英寸，通孔的內徑為1英寸，導管的豎直部分的外壁和通孔的內壁均光滑。

在一個實施例中，導管還包括水平部分，水平部分與豎直部分呈垂直角度并通過弧形部分連接。

在一個實施例中，導管的豎直部分、弧形部分和水平部分為等直徑。

本發明的儲液槽的液體導入管將導管延伸至儲液槽的液面之下，在進行液體導入時可以避免液體直接沖擊液面，從而減少氣泡的產生。本發明的儲液槽的液體導入管能在維持一定的液體流量和保持較高的生產效率的情況下減少氣泡生成。

附圖說明

本發明上述的以及其他的特征、性質和優勢將通過下面結合附圖和實施例的描述而變的更加明顯，在附圖中相同的附圖標記始終表示相同的特征，其中：

圖1a和圖1b揭示了現有技術中使用的儲液槽和液體導入管的結構。

圖2a、圖2b和圖2c揭示了根據本發明的一實施例的儲液槽和液體導入管的結構。

圖3a、圖3b和圖3c揭示了根據本發明的一實施例的基座和緊固件的結構。