[發明專利]單晶硅棒缺陷超聲檢測系統及方法

在審

• 申請號: 201410190832.4
• 申請日: 2014-05-07
• 公開（公告）號: CN104007181A
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發明（設計）人: 邱宗明;烏偉;朱凌建;李林;黃秋紅
• 申請（專利權）人: 西安理工大學
• 主分類號: G01N29/14
• 分類號: G01N29/14
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 李娜

1.一種單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，其特點在于，包括平臺轉動機構(1)，在平臺轉動機構(1)上方安裝有圓形工作臺(2)，圓形工作臺(2)的底板沿圓周設置有角度刻度線，圓形工作臺(2)的上部為桶體結構，

圓形工作臺(2)的上部桶體內腔安置待檢測的圓柱形單晶硅棒(6)，在單晶硅棒(6)直徑對稱的圓壁之外分別設置有收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)。

2.根據權利要求1所述的單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，其特點在于，所述的收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)與數據采集處理顯示部分連接；另外，平臺轉動機構(1)、收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)均與控制器連接。

3.根據權利要求1所述的單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，其特點在于，所述的收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)均選用縱波探頭。

4.一種單晶硅棒缺陷超聲檢測方法，其特點在于，依賴于權利要求1或2所述的單晶硅棒缺陷超聲檢測系統，按照以下步驟實施：

步驟1，將收發同體超聲探頭(3)、超聲接收探頭(4)和單晶硅棒(6)均浸泡在圓形工作臺(2)的桶體內的水中，收發同體超聲探頭(3)和超聲接收探頭(4)在同一水平面上，且處于沿單晶硅棒直徑對稱位置；

步驟2，通過MCU控制平臺轉動機構(1)帶動圓形工作臺(2)按照一定角度步進轉動，收發同體超聲探頭(3)發出超聲波，在單晶硅棒界面上發生的反射波被一端的收發同體超聲探頭(3)接收，透射波被另一端超聲接收探頭(4)接收；

步驟3，對超聲數據進行處理，實現存儲、結果顯示

對采集的超聲回波數據進行數字信號處理，同時構建極坐標體系，直觀顯示缺陷的位置、形狀和面積，即成。