[發明專利]測試分選機

有效

• 申請號: 201410189222.2
• 申請日: 2014-05-07
• 公開（公告）號: CN104001680B
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發明（設計）人: 羅閏成;權寧鎬;金溶范
• 申請（專利權）人: 泰克元有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36
• 代理公司: 北京冠和權律師事務所11399
• 代理人: 朱健

技術領域

本發明涉及支持半導體元件的測試的測試分選機。

背景技術

測試分選機是支持經規定的制造工序所制造的各半導體元件能夠由測試器(TESTER)所測試，并根據測試結果將半導體元件按照等級分類并在用戶托盤上裝載的設備。

圖1是從正上方觀察了一般的測試分選機100的概念圖。

如圖1所示，測試分選機(TEST HANDLER)100構成為包括：測試托盤(TEST TRAY)110、裝載裝置(LOADING APPARATUS)120、均熱室(SOAK CHAMBER)130、測試室(TEST CHAMBER)140、推進裝置(PUSHING APPARATUS)150、退均熱室(DESOAK CHAMBER)160、以及卸載裝置(UNLOADING APPARATUS)170等。

如圖2所示，測試托盤110設有能夠安裝設置半導體元件D的多個插入件111，并通過多個輸送裝置(未圖示)沿著所確定的閉合路徑C循環。

裝載位置120將裝載于用戶托盤上的所要測試的各半導體元件裝載到位于裝載位置LP(LOADING POSITION)的測試托盤。

為了將從裝載位置LP輸送而來的裝載于測試托盤110的各半導體元件按照測試環境條件預熱或預冷而設有均熱室130。

為了測試經在均熱室130預熱/預冷之后輸送到測試位置TP(TEST POSITION)的、裝載于測試托盤110的各半導體元件而設有測試室140。

為了將位于測試室140內的裝載于測試托盤110的各半導體元件推向與測試室140側結合的測試器(TESTER)側使得各半導體元件與測試器電連接，而設有推進裝置150。本發明涉及這種推進裝置150，對此將在下面進一步詳細說明。

為了將從測試室140輸送而來的裝載于測試托盤110的、經加熱或冷卻的各半導體元件回歸到常溫而設有退均熱室160。

卸載裝置170將從退均熱室160輸送至卸載位置UP的、裝載于測試托盤110的各半導體元件按照測試等級進行分類并卸載到空著的用戶托盤上。

如以上所說明，各半導體元件以裝載于測試托盤110的狀態沿著閉合路徑C循環，該閉合路徑C從裝載位置LP經均熱室130、測試室140、退均熱室160、以及卸載位置UP重新連接至裝載位置LP。

接著，進一步說明推進裝置150。

推進裝置150通過韓國授權專利第10-0709114號(發明名稱：測試分選機，尤其參照其中圖6，以下稱為“現有技術”)等多個專利文獻已有公開。

圖3是對于現有推進裝置150的概略立體圖。

如在圖3中所參照，推進裝置150包括匹配板151、支撐裝置152、以及氣缸(CYLINDER)153。

匹配板151具有與裝載于測試托盤110的各半導體元件一對一地對應的推進件151a。

支撐裝置152支撐匹配板151并包括各支撐軌152a-1、支撐軌152a-2、設置部件152b、制動器152c、以及球塞152d。

各支撐軌152a-1、152a-2引導匹配板151的用于設置以及拆卸的移動，并支撐所設置的匹配板151。

在設置部件152b上結合設置有各支撐軌152a-1、152a-2。作為參考，根據實施方式還可具備用于設置部件152b向半導體元件提供所設定的溫度的空氣的通道(DUCT)。

制動器152c在將匹配板151設置在設置部件152b上時，限制由各支撐軌152a-1、152a-2所引導而移動的匹配板151的過度的移動。

球塞152d設置于支撐軌152a-2，該球塞152d作為防止匹配板151脫離設定位置的脫離防止器起作用。即、如圖4的剖視圖所示，由球塞152d的彈簧S而彈性支撐的球B的一端插入匹配板151的球孔151b中，從而防止所設置的匹配板151任意地脫離設定位置。作為參考，若匹配板151脫離設定位置，則實現不了推進件151a與裝載于測試托盤110的各半導體元件之間的匹配，因而會導致工作不良以及配件損傷。

氣缸153是用于使支撐裝置152進退，最終使支撐于支撐裝置152的匹配板151進退的驅動源。通過這種氣缸153的動作，匹配板151的推進件151a向測試器側加壓半導體元件D，或者解除加壓。