[發明專利]高復現性光學元件面形檢測支撐裝置

有效

• 申請號: 201410187136.8
• 申請日: 2014-05-05
• 公開（公告）號: CN103968796B
• 公開（公告）日: 2017-06-09
• 發明（設計）人: 王輝;周烽;郭本銀;謝耀;王麗萍;金春水
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙)22210
• 代理人: 王丹陽

1.高復現性光學元件面形檢測支撐裝置，其特征在于，包括支撐盤(1)和設置在支撐盤(1)上的多個相同的支撐單元：

所述支撐盤(1)上設有圓形通孔(13)和沿圓形通孔(13)周向分布的至少三個相同的凹槽(11)；

所述凹槽(11)相對的兩個面上對稱且平行設置有四片相同的柔性鉸鏈(2)；

所述支撐單元的個數與凹槽(11)的個數相同，每個支撐單元包括球面凸臺(3)和兩組相同的軸承結構；

所述軸承結構包括軸承(4)、銷軸(5)和銷軸壓板(6)，所述軸承(4)通過銷軸(5)和銷軸壓板(6)固定在相對的兩片柔性鉸鏈(2)上；

所述球面凸臺(3)固定在光學元件(8)的外圓周面上，球面凸臺(3)放置于兩個軸承(4)之間，球面凸臺(3)與兩個軸承(4)的接觸面均為球面；

每個凹槽(11)內的四片柔性鉸鏈(2)和支撐單元構成了一個支撐點，每個支撐點與光學元件(8)的球面凸臺(3)接觸配合，提供光學元件(8)軸向平動和切向平動的約束，支撐裝置對光學元件(8)提供了三個支撐點，六個自由度約束；光學元件(8)沿徑向平動方向自由度、沿軸向轉動方向自由度和切向轉動方向自由度依靠柔性鉸鏈(2)的自由變形實現，兩組軸承結構與球面凸臺(3)組成的點接觸高副和轉動副保證了光學元件(8)徑向轉動方向自由度無約束。

2.根據權利要求1所述的高復現性光學元件面形檢測支撐裝置，其特征在于，所述凹槽(11)為三個，并且按120°沿圓形通孔(13)周向均勻分布。

3.根據權利要求1所述的高復現性光學元件面形檢測支撐裝置，其特征在于，所述凹槽(11)的每個面上的兩片柔性鉸鏈(2)沿圓形通孔(13)的同一切向方向設置。

4.根據權利要求1所述的高復現性光學元件面形檢測支撐裝置，其特征在于，所述軸承(4)的中心均在同一平面上。

5.根據權利要求1所述的高復現性光學元件面形檢測支撐裝置，其特征在于，所述支撐盤(1)上設有與柔性鉸鏈(2)等深的縫隙(12)，且縫隙(12)設置在凹槽(11)外。