[發明專利]一種彩色濾光片用顯影液

在審

• 申請號: 201410186960.1
• 申請日: 2014-05-06
• 公開（公告）號: CN103955122A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 江磊;金旭
• 申請（專利權）人: 富士膠片電子材料（蘇州）有限公司
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 蘇州廣正知識產權代理有限公司 32234
• 代理人: 張漢欽

技術領域

本發明涉及一種顯影液，特別是涉及一種彩色濾光片用顯影液。

背景技術

彩色濾光片（Color?filter）是一種表現顏色的光學濾光片，它可以精確選擇欲通過的小范圍波段光波，而反射掉其他不希望通過的波段。彩色濾光片通常安裝在光源的前方，?使人眼可以接收到飽和的某個顏色光線。有紅外濾光片，綠色，藍色等。與UV濾光片，VD濾光片相比，凡是帶色的濾光片之總稱。如反差濾光片、分色用濾光片、LB濾光片等。

彩色濾光片可用于液晶顯示器中，是液晶顯示器用于形成彩色圖像的重要部件。彩色濾光片的制作過程為，先在襯底基板上涂布光致刻蝕劑，將光致刻蝕劑預烤并用掩模板以光罩曝光，再以顯影液洗去沒有用掩模板遮蓋的未曝光區域的光致刻蝕劑，即可按照掩模板的圖案留下所需要的光致刻蝕劑圖案，具體為一矩陣圖案，各矩陣點對應各個像素。

光致刻蝕劑在曝光后進行顯影時，光致刻蝕劑含有的組成物在堿性顯影液中被中和，形成水溶性的有機聚合物鹽，達到光致刻蝕劑被顯影液溶解的效果。但在溶解過程中，顯影液要溶解未曝光區域的光致刻蝕劑，但曝光區域和未曝光區域的接觸區域很難溶解充分，造成圖案邊緣部分顯影差。為了提高顯影液的溶解性，一般會在顯影液中加入表面活性劑，但顯影液對曝光區域和未曝光區域的溶解性同時提高了，導致顯影液會溶解不應該溶解的區域，造成光刻圖案畸形，影響顯影液的顯影性。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種彩色濾光片用顯影液，具有良好的顯影效果。

為解決上述技術問題，本發明采用的一個技術方案是：提供一種彩色濾光片用顯影液，所述顯影液的組分包括有堿金屬氫氧化物、聚醚型表面活性劑、非離子型氟碳表面活性劑、有機膦酸鹽類絡合劑和純凈水。

在本發明一個較佳實施例中，所述有堿金屬氫氧化物為氫氧化鈉、氫氧化鉀及或四甲基氫氧化銨中的一種或多種。

在本發明一個較佳實施例中，所述聚醚型表面活性劑為壬基酚聚氧乙烯醚或烷基酚聚氧乙烯醚中的一種或多種。

在本發明一個較佳實施例中，所述非離子型氟碳表面活性劑為Zonyl?FSN?100、Zonyl?FSN?300或Zonyl?FSO?100中的一種或多種。

在本發明一個較佳實施例中，所述有機膦酸鹽類絡合劑為乙二胺四甲叉膦酸鈉、二乙烯三胺五甲叉膦酸鈉或乙二胺四乙酸四鈉中的一種或多種。

在本發明一個較佳實施例中，所述純凈水的電導率為5-15μS/cm。

在本發明一個較佳實施例中，所述顯影液的組分為：以質量百分百計，堿金屬氫氧化物?1-6%、聚醚型表面活性劑?0.2-10%、非離子型氟碳表面活性劑?0.1-3%、有機膦酸鹽類絡合劑?0.05-1%、純凈水?余量。

在本發明一個較佳實施例中，所述顯影液的組分為：以質量百分百計，堿金屬氫氧化物?3-6%、聚醚型表面活性劑?2-8%、非離子型氟碳表面活性劑?0.3-1.6%、有機膦酸鹽類絡合劑?0.1-0.5%、純凈水?余量。

在本發明一個較佳實施例中，所述顯影液的組分為：以質量百分百計，堿金屬氫氧化物?4.14%、聚醚型表面活性劑?2.26%、非離子型氟碳表面活性劑?0.85%、有機膦酸鹽類絡合劑?0.25%、純凈水?92.5%。

本發明的有益效果是：本發明的彩色濾光片用顯影液，所述顯影液對圖形部分具有良好的顯影效果，顯影后的圖形完整且無殘渣，尺寸準確，圖形邊緣清晰整齊，對非圖形部分有良好的保護作用，不產生畸變。

具體實施方式

下面將對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本發明保護的范圍。

實施例一：

提供一種用于彩色濾光片的顯影液，所述顯影液的組分為：以質量百分比計，氫氧化鈉?4.14%、壬基酚聚氧乙烯醚?2.26%、Zonyl?FSN?100?0.85%、乙二胺四甲叉膦酸鈉?0.25%、RO水?92.5。在潔凈室內，依次將NaOH、NP-10、FSN?100、EDTMPS加入到RO水中，混合均勻后用0.1微米濾膜加壓過濾，得到顯影液。其中本發明中所述純凈水的電導率為5-15μS/cm。

實施例二：