[發(fā)明專利]一種用于優(yōu)化測(cè)量系統(tǒng)的靈敏度的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410183276.8
• 申請(qǐng)日: 2014-05-04
• 公開（公告）號(hào): CN105092479B
• 公開（公告）日: 2021-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黨江濤;許靜仙;陳星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/21
• 分類號(hào): G01N21/21
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 鄭立柱

1.一種用于優(yōu)化測(cè)量系統(tǒng)的靈敏度的方法，所述方法包括以下步驟：

-在實(shí)際測(cè)量之前，確定所述測(cè)量系統(tǒng)的可選擇測(cè)量條件，并且通過(guò)模擬對(duì)待測(cè)樣品的所述可選擇測(cè)量條件進(jìn)行敏感性分析以得到第一分析結(jié)果，所述第一分析結(jié)果與所述可選擇測(cè)量條件的靈敏度有關(guān)；

-根據(jù)所述第一分析結(jié)果，從所述可選擇測(cè)量條件中選擇對(duì)測(cè)量最靈敏的測(cè)量條件，使得所述樣品能夠在對(duì)測(cè)量最靈敏的測(cè)量條件下進(jìn)行所述實(shí)際測(cè)量，以便縮減硬件運(yùn)動(dòng)時(shí)間；

其中，所述測(cè)量系統(tǒng)的可選擇測(cè)量條件包括以下條件中的至少一項(xiàng)：

-所述測(cè)量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有多個(gè)入射角；

-所述測(cè)量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有可旋轉(zhuǎn)入射面方位角；

-所述測(cè)量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有可旋轉(zhuǎn)玻片；

-所述測(cè)量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有可旋轉(zhuǎn)起偏器或驗(yàn)偏器；

-所述測(cè)量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有第一輔助光學(xué)元件；或者

-所述測(cè)量系統(tǒng)的主要控制部件是否具有第二輔助光學(xué)元件；

其中，當(dāng)所述測(cè)量系統(tǒng)的可選擇測(cè)量條件包括所述測(cè)量系統(tǒng)的主要控制部件具有多個(gè)入射角時(shí)，對(duì)所述待測(cè)樣品進(jìn)行入射角敏感性分析以便選擇經(jīng)優(yōu)化的入射角并且使得樣品在經(jīng)優(yōu)化的入射角的條件下進(jìn)行測(cè)量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一輔助光學(xué)元件為衰減片和/或所述第二輔助光學(xué)元件為濾光片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，當(dāng)所述測(cè)量系統(tǒng)的可選擇測(cè)量條件為所述測(cè)量系統(tǒng)的主要控制部件具有可旋轉(zhuǎn)入射面方位角時(shí)，根據(jù)對(duì)入射面方位角和所述樣品的結(jié)構(gòu)信息的分析選擇方位角進(jìn)行測(cè)量。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，當(dāng)所述測(cè)量系統(tǒng)的可選擇測(cè)量條件為只有寬光譜和單入射角而無(wú)可旋轉(zhuǎn)入射面方位角時(shí)并且在預(yù)定波段范圍下所述待測(cè)樣品的測(cè)量光譜不可取時(shí)，所述測(cè)量系統(tǒng)使用濾光片來(lái)選擇測(cè)量時(shí)所使用的波長(zhǎng)范圍。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，當(dāng)所述測(cè)量系統(tǒng)具有衰減片并且入射光的能量超過(guò)某一閾值時(shí)，根據(jù)所述某一閾值選擇第一衰減強(qiáng)度的衰減片。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述第一衰減強(qiáng)度為50％或者20％。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，當(dāng)在敏感性分析過(guò)程中發(fā)現(xiàn)入射光中的第一波長(zhǎng)的光譜的能量大于某一閾值且所述第一波長(zhǎng)的光譜對(duì)測(cè)量的敏感性沒有幫助時(shí)，針對(duì)所述第一波長(zhǎng)選擇第一濾光片來(lái)濾除所述第一波長(zhǎng)的光譜。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述第一濾光片為帶通濾光片。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，當(dāng)所述測(cè)量系統(tǒng)的可選擇測(cè)量條件中無(wú)輔助光學(xué)元件而所述待測(cè)樣品的反射率超過(guò)某一閾值時(shí)，根據(jù)由所述樣品所模擬計(jì)算出的能量曲線選擇驗(yàn)偏器方位角、轉(zhuǎn)動(dòng)頻率、每個(gè)周期采集的能量次數(shù)以便得到橢偏參數(shù)。