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[發明專利]ITO膜刻蝕液有效

專利信息
申請號: 201410182937.5 申請日: 2014-04-30
公開(公告)號: CN103937505A 公開(公告)日: 2014-07-23
發明(設計)人: 王麗 申請(專利權)人: 王麗
主分類號: C09K13/00 分類號: C09K13/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 246650 安*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: ito 刻蝕
【權利要求書】:

1.一種ITO膜刻蝕液,其是由以下重量組分配制得到:

0.4~0.6重量份的三氟甲基磺酸,2.5~2.8重量份的亞乙基二胺四甲叉膦酸鈉,1.5~2重量份的1、2-乙二磺酸,6~7重量份的草酸以及88~90重量份的配制用水。

2.如權利要求1所述的ITO膜刻蝕液,其特征在于:三氟甲基磺酸用量為0.5重量份。

3.如權利要求1所述的ITO膜刻蝕液,其特征在于:1、2-乙二磺酸用量為1.8重量份。

4.如權利要求1所述的ITO膜刻蝕液,其特征在于:亞乙基二胺四甲叉膦酸鈉用量為2.8重量份。

5.如權利要求1所述的ITO膜刻蝕液,其特征在于:草酸用量為2.8重量份。

6.如權利要求1~5中任意一項所述的ITO膜刻蝕液,其特征在于:刻蝕液是由以下重量組分配制得到:

0.5重量份的三氟甲基磺酸,2.8重量份的亞乙基二胺四甲叉膦酸鈉,1.8重量份的1、2-乙二磺酸,6重量份的草酸,89重量份的配制用水。

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