[發明專利]制造壓力傳感器的方法

有效

• 申請號: 201410181643.0
• 申請日: 2014-04-30
• 公開（公告）號: CN104129751B
• 公開（公告）日: 2018-10-26
• 發明（設計）人: P.D.史密斯;P.倫尼
• 申請（專利權）人: 基德科技公司
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;G01L7/08
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 馬紅梅;徐紅燕

1.一種制造過熱或火警探測系統的方法，包括以下步驟：

微機械加工壓力傳感器；以及

緊固傳感器管使之與所述壓力傳感器流體連通；

其中所述微機械加工步驟包括形成一個或多個層;

其中所述微機械加工步驟包括摻雜所述一個或多個層的第一層的至少一部分且至少部分地在所述經摻雜部分內形成空腔;

其中所述微機械加工步驟包括在所述空腔上形成可變形隔膜。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述傳感器管包括含有在加熱時釋出氣體的材料的中空管。

3.根據權利要求1所述的方法，其中所述微機械加工步驟包括在所述隔膜的上部表面中形成凹部，所述上部表面背對所述第一層并且至少部分地與所述空腔對準。

4.根據權利要求3所述的方法，其中所述微機械加工步驟包括：

形成多個經摻雜部分；

部分地在每一經摻雜部分內形成空腔；以及

在所述隔膜的上部表面中形成多個凹部，每一凹部至少部分地與空腔對準。

5.根據權利要求3或4所述的方法，其中所述微機械加工步驟包括形成具有不同深度的至少兩個凹部。

6.根據權利要求1到4中任一權利要求所述的方法，其中所述形成一個或多個層的步驟包括在所述可變形隔膜與所述第一層之間形成柔性導電層。

7.一種氣動式壓力傳感器，包括：

第一層，其在第一表面中具有多個空腔；以及

可變形隔膜，其具有：

第一表面，其面向且覆蓋所述空腔；以及

第二表面，其背對所述第一層且具有多個凹部，其中每一凹部至少部分地與所述空腔中的一者對準且至少第一凹部具有大于第二凹部的深度;

其中緊固傳感器管使之與所述壓力傳感器流體連通。

8.根據權利要求7所述的氣動式壓力傳感器，其中所述第一層和所述隔膜均具有100 μm或更小的厚度。

9.根據權利要求7或8所述的氣動式壓力傳感器，其中所述第一層包括具有多個經摻雜部分的半導體晶片，且所述空腔中的每一者至少部分地在所述經摻雜部分中的一者內。

10.根據權利要求9所述的氣動式壓力傳感器，其中每一經摻雜部分提供可通過將所述隔膜的一部分移動到空腔中而關閉的電端子。

11.一種制造根據權利要求7到10中任一權利要求所述的氣動式壓力傳感器的方法，其包括以下步驟：

微機械加工在第一表面中具有多個空腔的第一層；以及

微機械加工可變形隔膜，所述可變形隔膜覆蓋所述空腔且在所述隔膜的背對所述第一層的第二表面中具有深度不同的多個凹部。

12.一種制造過熱或火警探測系統的方法，其包括根據權利要求11所述的方法制造氣動式壓力傳感器以及連接傳感器管使之與所述多個凹部流體連通。