[發明專利]電容變換器及其制造方法、探測器以及對象信息獲取裝置

有效

• 申請號: 201410180728.7
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN104117477B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發明（設計）人: 虎島和敏;長永兼一
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: B06B1/02
• 分類號: B06B1/02
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 羅銀燕

1.一種電容變換器，包括：

包含多個單元的元件，所述多個單元被支撐，使得包含其間形成有間隙的一對電極之一的振動膜片能夠振動，

其中，元件端部中的單元的一對電極之間的距離大于元件中間部分中的單元的一對電極之間的距離。

2.根據權利要求1的電容變換器，其中，元件端部中的單元的振動膜片的彈簧常數小于元件中間部分中的單元的振動膜片的彈簧常數。

3.根據權利要求1的電容變換器，其中，元件端部中的單元的振動膜片的恢復力和靜電力之和與元件中間部分中的單元的振動膜片的恢復力和靜電力之和相等。

4.一種探測器，包括根據權利要求1至3中任一項的電容變換器。

5.一種對象信息獲取裝置，包括：

根據權利要求1的電容變換器；以及

處理部件，在所述處理部件中，使用由于從對象傳播的聲波入射于振動膜片上而從電容變換器輸出的電信號，來獲取與對象內部有關的特性信息。

6.根據權利要求5的對象信息獲取裝置，還包括發送部件，利用所述發送部件，通過向所述一對電極施加電壓而使振動膜片振動來導致聲波的發送，

其中，聲波是發送的聲波從對象內部的反射。

7.根據權利要求5的對象信息獲取裝置，還包括光源，

其中，聲波是從照射有來自光源的光的對象產生的光聲波。

8.一種電容變換器的制造方法，所述電容變換器包括元件，所述元件包括多個單元，

所述方法包括以下步驟：

形成多個第一電極；以及

形成能夠振動并包含分別與所述多個第一電極成對的多個第二電極的振動膜片，以由此形成多個包含一對的第一電極和第二電極的單元，

其中，在形成的步驟中，元件端部中的單元中的第一電極與第二電極之間的距離大于元件中間部分中的單元中的第一電極與第二電極之間的距離。