[發(fā)明專利]一種UV可剝離膠及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410180484.2
• 申請日: 2014-04-30
• 公開（公告）號: CN103923572A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 解月偉;解一軍;樊芳;高曉哲
• 申請（專利權(quán)）人: 河北工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: C09J4/02
• 分類號: C09J4/02;C09J4/06;C09J153/02;C09J175/14;C09J11/00
• 代理公司: 天津翰林知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 12210
• 代理人: 趙鳳英

技術(shù)領(lǐng)域：

本發(fā)明涉及一種UV可剝離膠的制備方法，主要應(yīng)用于單晶硅材料、集成電路、印刷線路板等半導(dǎo)體器件與投影儀、望遠(yuǎn)鏡、光學(xué)顯微鏡等光學(xué)儀器的制造加工過程。

背景技術(shù)：

在大規(guī)模集成電路的制造和半導(dǎo)體器件的制造加工過程中，必不可少的基礎(chǔ)材料是半導(dǎo)體芯片，半導(dǎo)體芯片是以單晶硅片加工而成的。單晶硅片簡稱晶圓。在對晶圓材料進(jìn)行切割、磨削加工時，需要用一種特殊的壓敏膠帶進(jìn)行粘結(jié)固定。加工完畢后，需要把加工好的晶圓切片從固定膠上能輕易的完全剝離下來，不影響晶圓材料本身。這種使用時具有高粘結(jié)強(qiáng)度而通過紫外光照后又可以迅速徹底的失去粘性的特殊膠帶稱之為UV可剝離膠。

目前UV可剝離膠大都是丙烯酸酯類的，文獻(xiàn)UV?Curable?Pressure-Sensitive?Adhesives?for?Fabricating?Semiconductors.II.The?Effect?of?Functionality?of?Acrylate?Monomers?on?the?Adhesive?Properties中提到一種由丙烯酸丁酯(80％mmol)、甲基丙烯酸甲酯(9.7％mmol)、丙烯酸羥乙酯(5％mmol)、丙烯酸(5.3％mmol)組成的丙烯酸酯共聚物(基膠)，其分子量可達(dá)65萬。通過向制得的丙烯酸酯共聚物中加入二季戊四醇五/六丙烯酸酯、交聯(lián)劑三羥甲基丙烷二丙烯酸酯以及光引發(fā)劑1-羥基環(huán)己基苯基甲酮制得的UV可剝離膠，光照前180°剝離強(qiáng)度僅有1.4N/25mm,不足以提供光照前晶圓材料加工時所需的粘結(jié)強(qiáng)度。

中國專利CN1560166A中也提到了類似的做法，其光照前的180°剝離強(qiáng)度也只有3～4N/25mm。

發(fā)明內(nèi)容：

本發(fā)明針對上述問題提供了一種UV可剝離膠的制備方法。當(dāng)前市場上的這種UV可剝離膠其基膠大都是丙烯酸酯類的，本發(fā)明采用的是熱塑性彈性體與改性樹脂的混合制得，與丙烯酸酯類的基膠相比，熱塑性彈性體相對分子量很大，柔性好，結(jié)構(gòu)規(guī)整，穩(wěn)定性好，極性小，與聚酯薄膜的粘結(jié)性更好，有利于剝離，可長時間放置并且不易掉膠。通過熱塑性彈性體與改性樹脂的混合制得的基膠有很好的粘接力，加入光敏成分后形成的膠體，在紫外光照射前仍具有較強(qiáng)的粘結(jié)強(qiáng)度，光照前其180°剝離強(qiáng)度可達(dá)到8～15N/25mm，足以使晶圓材料很好的固定在基材上，便于劃切加工，紫外光照射后，剝離強(qiáng)度驟降，被粘物可以不費力的從基材上剝離開來，并且被粘物表面無殘膠。

本發(fā)明的技術(shù)方案為：

一種UV可剝離膠的制備方法，其組成及配比包括：

所述的制備方法包括如下步驟：按照上面的配比，

(1)，分別將熱塑性彈性體與改性樹脂溶解于溶劑中，將上述兩種溶液混合，攪拌均勻，即得到基膠；其中，各自所需的溶劑量為質(zhì)量比：熱塑性彈性體：溶劑＝1:1～4；改性樹脂：溶劑＝2:2～3；

(2)，向基膠中加入光敏成分以及自由基光引發(fā)劑，攪拌均勻后制得UV可剝離膠；

本發(fā)明涉及的百分比為質(zhì)量百分比。

所述的熱塑性彈性體為苯乙烯/丁二烯/苯乙烯嵌段共聚物和苯乙烯/異戊二烯/苯乙烯嵌段共聚物中的一種或兩種。

所述改性樹脂為C5系石油樹脂或松香樹脂。

(2)步中所述光敏成分為二季戊四醇五丙烯酸酯/二季戊四醇六丙烯酸酯兩者的混合物，體積比為二季戊四醇五丙烯酸酯/二季戊四醇六丙烯酸酯＝20～40：60～80，或者是九官能團(tuán)的聚氨酯丙烯酸酯。

所述的溶劑具體是體積比為1:1的甲苯/醋酸乙酯劑。

所述自由基光引發(fā)劑為a-羥烷基苯酮或者酰基膦氧化物。

本發(fā)明的有益效果為：1、制備的UV可剝離膠在光照之前有較強(qiáng)的粘結(jié)力，180°剝離強(qiáng)度達(dá)到8～15N/25mm；2、光照后膠體從被粘物表面能夠很容易地實現(xiàn)剝離，剝離強(qiáng)度不超過2～3N/25mm，且剝離后被粘物表面無殘膠；3、制備的UV可剝離膠粘貼在被保護(hù)材料表面后,通過光照的方式使之迅速失去粘性，快速且操作簡便，照射時間沒有嚴(yán)格的限制，功率為1000w的高壓汞燈下照射時間不低于20～30s范圍內(nèi)皆可；4、丙烯酸酯類基膠的性能特點是硬、脆、不穩(wěn)定，由熱塑性彈性體與改性樹脂的混合制得的基膠柔性好性能穩(wěn)定，耐老化性能好，便于長時間放置。

具體實施方式