[發(fā)明專利]具有定位功能的對位平臺

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410178560.6
• 申請日: 2014-04-29
• 公開（公告）號: CN105014395A
• 公開（公告）日: 2015-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 莊運清;陳偉倫
• 申請（專利權(quán)）人: 高明鐵企業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B23Q1/26
• 分類號: B23Q1/26;B23Q1/38
• 代理公司: 北京中博世達專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 王晶

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種對位平臺裝置，特別是指一種具有定位功能的創(chuàng)新對位平臺結(jié)構(gòu)設(shè)計。

背景技術(shù)

隨著高科技時代的來臨，多種制造加工的處理模式已進入奈米等級，眾多精密產(chǎn)品于制程中有更高更嚴(yán)苛的精度要求，尤其是光電及晶圓產(chǎn)品，其精密定位技術(shù)成為必備條件。

精密加工制程中，對位平臺(或稱對位滑臺)為產(chǎn)業(yè)界普遍采用的設(shè)備；目前對位平臺的典型結(jié)構(gòu)形態(tài)，主要是在一活動平臺與一基座之間橫設(shè)有數(shù)組X軸向與Y軸向的螺桿導(dǎo)動裝置，螺桿導(dǎo)動裝置的組裝座部被定位于基座，螺桿導(dǎo)動裝置的伸縮作動端則呈滑動配合狀態(tài)連結(jié)于活動平臺；藉此，其運作時能夠透過控制螺桿導(dǎo)動裝置的其中單組作動或整體同動等方式，達到驅(qū)使活動平臺位移或轉(zhuǎn)動以調(diào)校加工精準(zhǔn)度的目的。

前述對位平臺結(jié)構(gòu)于使用上雖確可達到其精密位移調(diào)校的功能，但其問題點卻是出在于定位的部份，概因，對位平臺結(jié)構(gòu)無論處于作動狀態(tài)或定止?fàn)顟B(tài)時，其活動平臺的支撐力與定位性完全是仰賴螺桿導(dǎo)動裝置的連結(jié)關(guān)系來達成，然而，由于螺桿導(dǎo)動裝置與活動平臺之間呈滑動配合連結(jié)關(guān)系，此種組合狀態(tài)于二者各相連結(jié)處難免存在有配合公差，而配合公差累積的結(jié)果，勢必造成對位平臺于定止?fàn)顟B(tài)時并無法達到剛性穩(wěn)固定位狀態(tài)的問題，亦即對于側(cè)向作用力并無足夠的承載支撐能力，此一問題對于三軸配置形態(tài)的對位平臺而言尤為嚴(yán)重，因其活動平臺定止時，其中一導(dǎo)動軸呈較大自由度連結(jié)狀態(tài)，故承載支撐能力較弱；而另一種四軸配置形態(tài)對位平臺，其側(cè)向承載力雖優(yōu)于前述三軸配置形態(tài)者，但其缺點是制造成本大幅提高，且仍舊存在組合累進公差問題而無法達到剛性穩(wěn)固支撐狀態(tài)；是以綜合上述對位平臺的結(jié)構(gòu)設(shè)計，其加工過程中當(dāng)活動平臺受力達一定程度時，往往容易產(chǎn)生抖振、偏移現(xiàn)象而嚴(yán)重影響到最終產(chǎn)品加工精度與質(zhì)量，如此而難以符合產(chǎn)業(yè)界預(yù)期的高精度要求，實有必要再加以思索突破。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種具有定位功能的對位平臺，其所欲解決的技術(shù)問題，針對如何研發(fā)出一種結(jié)構(gòu)定位性更加穩(wěn)固、更具理想實用性的新式精密對位平臺為目標(biāo)加以創(chuàng)新突破。

為達到上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種對位平臺包括：一基座，為一座體形態(tài)，包括著置面及構(gòu)件裝設(shè)面；一活動平臺，設(shè)于構(gòu)件裝設(shè)面一間隔距離位置處，包括加工臺面及內(nèi)面；至少兩組導(dǎo)動裝置，組設(shè)連結(jié)于基座的構(gòu)件裝設(shè)面與活動平臺的內(nèi)面之間；一中空限位座，凸設(shè)定位于基座的構(gòu)件裝設(shè)面中央，中空限位座內(nèi)部形成腔室，中空限位座端面中央設(shè)有一軸孔貫通腔室；一抵靠板，凸設(shè)定位于活動平臺內(nèi)面一間隔距離處，抵靠板與活動平臺內(nèi)面之間界定形成有間隔空間，抵靠板具一抵靠作用面與活動平臺內(nèi)面間隔相對，且抵靠板中央設(shè)有一穿透口，又抵靠板與中空限位座的端面之間呈相互抵靠狀態(tài)；一工字型迫緊座，設(shè)于基座的構(gòu)件裝設(shè)面與活動平臺內(nèi)面之間中央?yún)^(qū)域，工字型迫緊座包括一浮動盤、一迫緊盤及垂直向連結(jié)定位于浮動盤與迫緊盤之間的一連動軸，該浮動盤置于中空限位座的腔室中呈可限位滑移浮動狀態(tài)，迫緊盤置于抵靠板與活動平臺內(nèi)面之間的間隔空間中，迫緊盤具一迫緊面與抵靠板的抵靠作用面相對應(yīng)，連動軸穿組于中空限位座所設(shè)軸孔呈可軸向樞動狀態(tài)。

藉此創(chuàng)新獨特設(shè)計，使本發(fā)明對照先前技術(shù)而言，當(dāng)活動平臺載重時，整體工字型迫緊座會朝基座方向位移，驅(qū)使迫緊盤的迫緊面朝抵靠板的抵靠作用面產(chǎn)生抵緊作用，令活動平臺的定止?fàn)顟B(tài)獲得加強穩(wěn)固功能與效果，進而達到增益精密對位平臺的活動平臺結(jié)構(gòu)強度與穩(wěn)固性、大幅提升加工精度質(zhì)量且結(jié)構(gòu)簡單而易于量產(chǎn)制造等諸多實用進步性。

本發(fā)明的另一主要目的通過工字型迫緊座的浮動盤與中空限位座的腔室之間的環(huán)狀間隙空間相對構(gòu)成一流體增壓接口；并另設(shè)一流體導(dǎo)入單元包括設(shè)于中空限位座一側(cè)的流體壓力導(dǎo)入通道以及藉以導(dǎo)入一外部流體壓力并連通該流體壓力導(dǎo)入通道的一流體導(dǎo)管，該流體壓力導(dǎo)入通道內(nèi)端連通流體增壓接口的另一技術(shù)特征，以當(dāng)該流體導(dǎo)入單元導(dǎo)入流體壓力令流體增壓界面之間隙膨脹時，整體工字型迫緊座會朝基座方向位移，驅(qū)使迫緊盤的迫緊面朝抵靠板的抵靠作用面產(chǎn)生抵緊作用，令活動平臺的定止?fàn)顟B(tài)獲得一種流體增壓迫緊式的加強穩(wěn)固功能與效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)較佳實施例的細部分解立體圖。

圖2為本發(fā)明結(jié)構(gòu)較佳實施例的大部分解立體圖。

圖3為本發(fā)明結(jié)構(gòu)較佳實施例的組合立體圖。

圖4為本發(fā)明結(jié)構(gòu)較佳實施例的組合剖視圖。

圖5為本發(fā)明結(jié)構(gòu)另一實施例的分解立體圖。

圖6為本發(fā)明結(jié)構(gòu)另一實施例的組合立體圖。