[發明專利]一種寬波段近景紫外成像光譜裝置

有效

• 申請號: 201410177962.4
• 申請日: 2014-04-29
• 公開（公告）號: CN103940514A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 廖寧放;呂航;劉洋;廉玉生;吳文敏;范秋梅;董志剛;曹瑋亮
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G01N21/25
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 梁軍

1.一種寬波段近景紫外成像光譜裝置，其特征在于，包括：

光源，用于向被測樣品照射紫外光；

掃描部，用于以預設步長對所述被測樣品進行掃描，以使各次掃描到的部分的反射光分別通過前置成像部在干涉部上成像；

所述前置成像部，用于通過反射方式將所述掃描部每次掃描產生的所述反射光進行調焦，以使所述反射光在所述干涉部成像；

所述干涉部，用于將來自所述前置成像部的、每次掃描產生的反射光分別成第一圖像和第二圖像，并將每組所述第一圖像和所述第二圖像傳遞到中繼成像部；其中，每組所述第一圖像的圖像內容和所述第二圖像的圖像內容相同，相位相差預設相位；

所述中繼成像部，用于以反射方式將每組所述第一圖像和所述第二圖像疊加干涉成第三圖像并所述第三圖像傳遞到探測部；

所述探測部，用于將疊加干涉后的各所述第三圖像的光信號轉換為電信號并進行數據處理，以獲取所述被測樣品在各光譜波長下的圖像信息。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述前置成像部包括卡塞格林雙反射鏡，所述中繼成像部包括奧夫納三反射鏡。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述卡塞格林雙反射鏡或所述奧夫納三反射鏡上設置有寬帶高反膜。

4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述掃描部，還用于以預設步長對所述被測樣品進行掃描，以使各次掃描到的部分激發的熒光分別通過前置成像部在干涉部上成像；所述前置成像部，具體用于通過反射方式將所述掃描部每次掃描產生的所述反射光和所述熒光一起進行調焦，以使所述反射光和所述熒光一起在所述干涉部成像；所述干涉部，具體用于將來自所述前置成像部的、每次掃描產生的反射光和熒光一起，分別成所述第一圖像和所述第二圖像，并將每組所述第一圖像和所述第二圖像傳遞到所述中繼成像部。

5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，疊加干涉后的各所述第三圖像中包括所述被測目標的二維圖像信息和一維干涉條紋信息。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述被測樣品至所述探測部的光程為0至10米。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的裝置，其特征在于，所述干涉部包括無狹縫分振幅干涉結構。

8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述無狹縫分振幅干涉結構包括分束棱鏡干涉結構或三角共路干涉結構。