[發(fā)明專利]一種隧道式MEMS陀螺儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410177247.0
• 申請日: 2014-04-29
• 公開（公告）號: CN103913159A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設計）人: 陳李;田穎;溫中泉;陳剛
• 申請（專利權）人: 重慶大學
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56
• 代理公司: 北京同恒源知識產(chǎn)權代理有限公司 11275
• 代理人: 趙榮之

1.一種隧道式MEMS陀螺儀，其特征在于：包括一塊作為敏感質(zhì)量的薄板，所述薄板為正16邊形，正16邊形的每一條邊對應1個電極，敏感質(zhì)量和16個電極都鍵合在玻璃襯底上。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種隧道式MEMS陀螺儀，其特征在于：所述16個電極分為4組，分別為驅動電極、調(diào)節(jié)電極、反饋電極和用于產(chǎn)生隧穿電流的錐尖電極；其中：電極(A1)、電極(A2)、電極(A3)、電極(A4)作為驅動電極，呈對稱分布；電極(B1)、電極(B2)、電極(B3)、電極(B4)、電極(B5)、電極(B6)、電極(B7)和電極(B8)作為調(diào)節(jié)電極，呈對稱分布；電極(A1)位于電極(B8)和電極(B1)之間，電極(A2)位于電極(B2)和電極(B3)之間，電極(A3)位于電極(B4)和電極(B5)之間，電極(A4)位于電極(B6)和電極(B7)之間；電極(C1)和電極(C2)作為檢測模態(tài)的反饋電極，分別位于電極(B3)、電極(B4)和電極(B5)、電極(B6)中間。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種隧道式MEMS陀螺儀，其特征在于：16個電極中的電極(T1)、電極(T2)為錐尖電極，用于產(chǎn)生隧穿電流，兩個錐尖電極分別位于電極(B1)、電極(B2)以及電極(B7)、電極(B8)之間。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種隧道式MEMS陀螺儀，其特征在于：所述錐尖電極(T1)和錐尖電極(T2)設置在可動梳上。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種隧道式MEMS陀螺儀，其特征在于：所述可動梳包括靜齒(3-1)、動齒(3-2)、折疊梁(3-3)、錨點(3-4)；靜齒(3-1)鍵合在玻璃襯底上，動齒(3-2)的一端與錐尖電極相連，另一端與折疊梁(3-3)相連；折疊梁(3-3)通過錨點(3-4)鍵合在玻璃襯底上。