[發明專利]超精機械運動控制裝置

在審

• 申請號: 201410174750.0
• 申請日: 2014-04-28
• 公開（公告）號: CN103944346A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發明（設計）人: 朱光波
• 申請（專利權）人: 朱光波
• 主分類號: H02K33/18
• 分類號: H02K33/18
• 代理公司: 廣州市越秀區哲力專利商標事務所(普通合伙) 44288
• 代理人: 李悅;張鵬

1.一種超精機械運動控制裝置，其特征在于：包括非導磁性材質的直線軸，直線軸上套接有軸套，所述直線軸內設有若干間隔固定排列的第一磁體，軸套內設有第二磁體，第一磁體與第二磁體兩者的磁極方向均與直線軸的軸向平行，通過第一磁體和第二磁體所產生的磁場，軸套沿直線軸做軸向往復的機械運動；軸套上設有高氣壓進入的入口，軸套與直線軸接觸的內環壁上設有氣孔。

2.如權利要求1所述的超精機械運動控制裝置，其特征在于：所述第一磁體為環形的永磁體，第二磁體為電磁線圈。

3.如權利要求1所述的超精機械運動控制裝置，其特征在于：所述第一磁體為電磁線圈，第二磁體為環形的永磁體。

4.如權利要求1所述的超精機械運動控制裝置，其特征在于：所述若干間隔固定排列的第一磁體之間用非導磁體性質的物體隔離。

5.如權利要求1所述的超精機械運動控制裝置，其特征在于:所述直線軸上設有光柵刻度尺，軸套上設有光柵讀數頭，所述光柵讀數頭連接有用于連接電源以及傳遞數據的電路。

6.如權利要求1所述的超精機械運動控制裝置，其特征在于:所述軸套的內環壁為氣膜。

7.如權利要求1所述的超精機械運動控制裝置，其特征在于:所述直線軸的橫截面為圓形或橢圓形。

8.如權利要求1所述的超精機械運動控制裝置，其特征在于:所述直線軸的材質為無機玻璃或者鋁或者銅或陶瓷。