[發明專利]一種用于光阻噴嘴的清洗槽體結構及其應用

有效

• 申請號: 201410174612.2
• 申請日: 2014-04-28
• 公開（公告）號: CN103949427A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 汪武平;毛智彪;楊正凱
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種用于光阻噴嘴的清洗槽體結構，包括清洗槽殼體(5)、防清洗液飛濺腔(4)、噴嘴清洗腔(9)、清洗液排出口(8)、噴嘴根部(1)、噴嘴腰部(2)、噴嘴頭部(3)、清洗液管路(7)、最終清洗噴嘴(6)，所述清洗液管路(7)穿過清洗槽殼體(5)，將清洗液導入到噴嘴清洗腔(9)內沖洗噴嘴頭部(3)；清洗液沖洗噴嘴頭部(3)后，從清洗液排出口(8)排出，所述最終清洗噴嘴(6)用于沖洗對噴嘴頭部(3)清洗完畢之后的清洗液管路(7)出口處的殘液；其特征在于，至少還包括一路新增清洗液管路(10)，清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)的出口在噴嘴清洗腔(9)的內壁沿水平圓周方向上均布；所述清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)與水平方向呈傾斜角度布置，清洗液沿清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)向噴嘴清洗腔(9)內部偏下的方向沖洗噴嘴頭部(3)。

2.根據權利要求1所述的清洗槽體結構，其特征在于，所述清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)與清洗槽殼體(5)之間采用管徑與孔徑過盈配合的方式連接或者與清洗槽殼體(5)之間以螺紋或焊接方式連接。

3.根據權利要求1所述的清洗槽體結構，其特征在于，所述防清洗液飛濺腔(4)還有至少一路氮氣吹掃管路(11)，該氮氣吹掃管路(11)與水平方向呈傾斜角度布置，氮氣沿該氮氣吹掃管路(11)向防清洗液飛濺腔(4)內部偏下的方向吹掃。

4.根據權利要求3所述的清洗槽體結構，其特征在于，所述傾斜角度為30至60度。

5.根據權利要求3所述的清洗槽體結構，其特征在于，所述氮氣吹掃管路(11)的出口位于防清洗液飛濺腔(4)的二分之一高度的上部。

6.根據權利要求3所述的清洗槽體結構，其特征在于，所述氮氣吹掃管路(11)與清洗槽殼體(5)之間采用管徑與孔徑過盈配合的方式連接或者與清洗槽殼體(5)之間以螺紋或焊接方式連接。

7.根據權利要求1所述的清洗槽體結構，其特征在于，所述清洗液排出口(8)還有至少一路負壓抽氣管路(12)；所述負壓抽氣管路(12)與清洗槽殼體(5)之間采用管徑與孔徑過盈配合的方式連接或者與清洗槽殼體(5)之間以螺紋或焊接方式連接。

8.根據權利要求1所述的清洗槽體結構，其特征在于，所述傾斜角度為30至60度，所述清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)的出口與噴嘴頭部(3)的中間位置處于同一高度上。

9.一種用于光阻噴嘴清洗槽體結構的應用，基于上述權利要求1至權利要求8所述的一種用于光阻噴嘴的清洗槽體結構，其具體應用方法如下：

1)在噴嘴頭部(3)準備進入噴嘴清洗腔(9)之前2至4秒，氮氣吹掃管路(11)開始吹掃防清洗液飛濺腔(4)，同時負壓抽氣管路(12)開始抽吸清洗液排出口(8)；

2)在噴嘴頭部(3)進入清洗腔之后，清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)的清洗液開始沖洗噴嘴頭部(3)，沖洗時間維持3至5秒；

3)沖洗完畢后，噴嘴頭部(3)從清洗槽體中抽出；

4)最終清洗噴嘴(6)開始沖洗清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)的出口部位，最終清洗噴嘴(6)沖洗時間維持2至4秒；

5)最終清洗噴嘴(6)停止沖洗2至3秒后，氮氣吹掃管路(11)停止吹掃，同時負壓抽氣管路(12)停止抽吸。

10.根據權利要求9所述的一種用于光阻噴嘴清洗槽體結構的應用，其特征在于，所述清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)的清洗液壓力為2至3公斤；所述氮氣吹掃管路(11)的氮氣壓力為1至2公斤；所述負壓抽氣管路(12)的壓力為負的0至1公斤；所述最終清洗液壓力為1至2公斤。