[發(fā)明專利]氧化爐爐門的開關(guān)控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410174566.6
• 申請(qǐng)日: 2014-04-28
• 公開（公告）號(hào): CN103925796A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張海輪;周峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號(hào): F27D1/18
• 分類號(hào): F27D1/18;F27D19/00
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于半導(dǎo)體制造的氧化爐爐門的開啟和關(guān)閉控制方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)向高密度、高集成度的方向迅速發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體集成電路新工藝、新技術(shù)、新設(shè)備提出了越來越高的要求。在所有半導(dǎo)體專用設(shè)備中，擴(kuò)散/氧化爐是集成電路生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，其主要用于硅片工藝中的擴(kuò)散、退火、合金、氧化、薄膜生長(zhǎng)等工藝。

一般而言，半導(dǎo)體制造氧化爐爐門的開閉包括升降、旋轉(zhuǎn)等動(dòng)作，如采用雙電機(jī)驅(qū)動(dòng)自動(dòng)爐門的開閉分別由兩個(gè)動(dòng)作的組合實(shí)現(xiàn)，爐門的開啟依次包括下降和旋轉(zhuǎn)打開，爐門的關(guān)閉依次包括旋轉(zhuǎn)關(guān)閉和上升。檢驗(yàn)爐門是否升降或旋轉(zhuǎn)到位，一般是通過原位傳感器來識(shí)別，以爐門旋轉(zhuǎn)打開為例，當(dāng)爐門下降到位(下降動(dòng)作的原位搜索完成)后執(zhí)行旋轉(zhuǎn)打開的動(dòng)作，當(dāng)旋轉(zhuǎn)打開動(dòng)作對(duì)應(yīng)的原位傳感器探測(cè)到爐門剛遮擋原位傳感器時(shí)，控制停止?fàn)t門旋轉(zhuǎn)，爐門旋轉(zhuǎn)打開的動(dòng)作執(zhí)行完畢。因?yàn)閷?duì)于氧化爐爐門的開啟或關(guān)閉，對(duì)其原位精度要求較低，一般采用檢測(cè)到剛遮擋原位傳感器即減速停止的原位方式，原位結(jié)束后即認(rèn)為動(dòng)作完成。

上述現(xiàn)有技術(shù)雖然操作簡(jiǎn)單，但忽略了原位傳感器失效的特殊情況，尤其是爐門旋轉(zhuǎn)打開的動(dòng)作執(zhí)行過程中，原位傳感器若突然失效而使系統(tǒng)誤認(rèn)為爐門旋轉(zhuǎn)打開動(dòng)作已經(jīng)完成到位，實(shí)際上爐門并未完全打開，這樣就會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的晶舟運(yùn)動(dòng)發(fā)生碰撞，造成巨大損失。

綜上，如何提供一種新的氧化爐爐門開關(guān)控制方法，排除上述原位傳感器失效的情況，正確辨識(shí)爐門的動(dòng)作狀態(tài)，從而避免后續(xù)動(dòng)作發(fā)生碰撞所造成的損失，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題之一。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，提供一種氧化爐爐門的開關(guān)控制方法，通過多次觸發(fā)原位傳感器，排除其可能出現(xiàn)的故障，從而提高設(shè)備的安全性和可靠性。

本發(fā)明提供一種氧化爐爐門的開關(guān)控制方法，該爐門的開關(guān)包括開啟和關(guān)閉，該爐門開啟的開關(guān)動(dòng)作包括下降和旋轉(zhuǎn)打開，爐門關(guān)閉的開關(guān)動(dòng)作包括旋轉(zhuǎn)關(guān)閉和上升，該氧化爐在對(duì)應(yīng)每個(gè)爐門開關(guān)動(dòng)作的完成位置處均設(shè)有原位傳感器，該爐門開關(guān)控制方法包括以下步驟：

步驟S01，控制單元發(fā)出開關(guān)動(dòng)作的指令，驅(qū)動(dòng)爐門執(zhí)行該開關(guān)動(dòng)作，當(dāng)該開關(guān)動(dòng)作對(duì)應(yīng)的原位傳感器探測(cè)到爐門進(jìn)入其觸發(fā)范圍時(shí)，反饋第一到位信號(hào)至控制單元，并由控制單元驅(qū)動(dòng)爐門停止；

步驟S02，控制單元驅(qū)動(dòng)爐門向該開關(guān)動(dòng)作的反方向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)該原位傳感器探測(cè)到爐門離開其觸發(fā)范圍時(shí)，反饋未到位信號(hào)至控制單元，并由控制單元驅(qū)動(dòng)爐門停止；

步驟S03，控制單元驅(qū)動(dòng)爐門向該開關(guān)動(dòng)作的正方向運(yùn)動(dòng)，當(dāng)該原位傳感器探測(cè)到爐門進(jìn)入其觸發(fā)范圍時(shí)，反饋第二到位信號(hào)至控制單元，并由控制單元驅(qū)動(dòng)爐門停止；

步驟S04，控制單元全部接收第一到位信號(hào)、未到位信號(hào)和第二到位信號(hào)，則判斷該原位傳感器無故障，該爐門開關(guān)動(dòng)作完成，否則，判斷該原位傳感器故障，爐門開關(guān)動(dòng)作失敗。

進(jìn)一步地，步驟S01還包括步驟S011，若爐門運(yùn)動(dòng)至該原位傳感器觸發(fā)范圍的位置而原位傳感器未反饋第一到位信號(hào)，則判斷該原位傳感器故障，爐門開關(guān)動(dòng)作失敗；步驟S02還包括步驟S021，若爐門運(yùn)動(dòng)至離開該原位傳感器觸發(fā)范圍的位置而原位傳感器未反饋未到位信號(hào)，則判斷該原位傳感器故障，爐門開關(guān)動(dòng)作失敗；步驟S03還包括步驟S031，若爐門運(yùn)動(dòng)至該原位傳感器觸發(fā)范圍的位置而原位傳感器未反饋第二到位信號(hào)，則判斷該原位傳感器故障，爐門開關(guān)動(dòng)作失敗。

進(jìn)一步地，本方法中所述進(jìn)入原位傳感器的觸發(fā)范圍是原位傳感器探測(cè)到爐門到達(dá)其觸發(fā)范圍上沿并向下沿移動(dòng)；所述離開原位傳感器的觸發(fā)范圍是原位傳感器探測(cè)到爐門離開其觸發(fā)范圍上沿并向觸發(fā)范圍以外移動(dòng)。

進(jìn)一步地，本方法中所述驅(qū)動(dòng)爐門停止是驅(qū)動(dòng)爐門立即停止或驅(qū)動(dòng)爐門減速停止。

進(jìn)一步地，步驟S01和S03中控制爐門停止于該原位傳感器觸發(fā)范圍的上沿和下沿之間。

進(jìn)一步地，步驟S011中為爐門運(yùn)動(dòng)至該原位傳感器觸發(fā)范圍的位置并停留0.1-10秒；步驟S021中為爐門向該開關(guān)動(dòng)作的反方向運(yùn)動(dòng)0.1-5秒；步驟S031中為爐門運(yùn)動(dòng)至該原位傳感器觸發(fā)范圍的位置并停留0.1-10秒。

進(jìn)一步地，該氧化爐爐門為電動(dòng)爐門，該控制單元為PLC(可編程邏輯控制器)。

進(jìn)一步地，該原位傳感器為光電傳感器。