[發明專利]石墨烯/六方氮化硼的高度晶向匹配堆疊結構及其制備方法有效
| 申請號： | 201410174485.6 | 申請日： | 2014-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN105019030B | 公開（公告）日： | 2019-01-08 |
| 發明（設計）人： | 王多明;張廣宇;時東霞 | 申請（專利權）人： | 中國科學院物理研究所 |
| 主分類號： | C30B33/02 | 分類號： | C30B33/02;C30B29/02;C30B29/38 |
| 代理公司： | 北京智匯東方知識產權代理事務所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 范曉斌;康正德 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石墨烯 六方氮化硼 堆疊結構 晶向 匹配 制備 熱處理 不確定性 高度匹配 機械對準 氮化硼 無規則 石墨 延伸 成熟 加工 | ||
1.一種石墨烯/六方氮化硼的高度晶向匹配堆疊結構的制備方法，包括：
形成石墨烯/六方氮化硼的初步堆疊結構；
對所述初步堆疊結構進行熱處理，以得到所述石墨烯/六方氮化硼的高度晶向匹配堆疊結構；
其中，形成所述石墨烯/六方氮化硼的初步堆疊結構的步驟包括：
在六方氮化硼晶體上形成石墨烯層，并在所述石墨烯層上引入缺陷；
擴大所述缺陷以得到相互分立的石墨烯塊，從而得到多個所述初步堆疊結構；
其中，所述熱處理包括加熱操作，所述加熱操作的加熱溫度為600℃～800℃，保溫時間為10～40分鐘；在所述熱處理之前，采用基于掃描探針的操縱技術對所述初步堆疊結構中的石墨烯進行操作，以使所述初步堆疊結構預匹配。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述熱處理為對所述初步堆疊結構進行高溫退火，所述高溫退火時的升溫速率和降溫速率均為5～15℃/分鐘。
3.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述高溫退火時的升溫速率和降溫速率均為10℃/分鐘。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，采用電子束光刻技術和反應離子氧刻蝕技術在所述石墨烯層上引入缺陷。
5.根據權利要求1-4中任一項所述的制備方法，其特征在于，所述缺陷呈圓形孔洞，所述圓形孔洞的尺寸為50～800nm。
6.根 據權利要求1-4中任一項所述的制備方法，其特征在于，采用氫等離子體各向異性刻蝕以擴大所述石墨烯層上的缺陷。
7.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述氫等離子體各向異性刻蝕的條件為：溫度為400℃，氫氣壓力為0.4torr，功率為10W，刻蝕速率為3nm/分鐘。
8.一種高度晶向匹配的石墨烯/六方氮化硼堆疊結構，其特征在于，所述堆疊結構由權利要求1至7中任一項所述的制備方法制備而成。
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