[發明專利]一種測量化學氣相沉積爐的原料蒸發量的方法

在審

• 申請號: 201410172645.3
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN103924222A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 朱劉;朱巨才;于金鳳;李欽;吳偉平;陳松
• 申請（專利權）人: 清遠先導材料有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/455
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 趙青朵

1.測量化學氣相沉積爐的原料蒸發量的方法，包括以下步驟：

將測量組件中的浮球組件置于化學氣相沉積爐內的固體原料頂部；

將所述固體原料熔化為液體，所述測量組件測得第一位移；

將所述液體陸續變為蒸汽，測量組件測得第二位移；

根據所述第一位移、第二位移與測定第一位移和第二位移的時間差，得到單位時間內的原料蒸發量；

所述測量組件包括依次連接的浮球組件、與所述浮球組件相接的第一連桿、與所述第一連桿相接的連接頭、與所述連接頭相接的第二連桿和與所述第二連桿相接的位移傳感器組件。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據所述第一位移、第二位移與測定第一位移和第二位移的時間差，得到單位時間內的原料蒸發量具體為：

根據所述第一位移、第二位移和盛放所述液體的器具的橫截面積，得到變為蒸汽的液體的體積；

根據測定的第一位移和第二位移的時間差以及所述變為蒸汽的液體的體積，得到單位時間內原料蒸發量。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一連桿的材質為石墨或不銹鋼。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一連桿的材質為C/C復合材料。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二連桿的材質為石英、石墨或不銹鋼。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述測量組件還包括設置在第二連桿和位移傳感器組件之間的過渡連桿；

所述過渡連桿的材質為不銹鋼。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述浮球組件為中空圓柱體或中空球體。

8.根據權利要求1～7任意一項所述的方法，其特征在于，所述浮球組件的材質為石墨、C/C復合材料或石英。

9.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述連接獨立地為可拆卸連接。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述可拆卸連接為螺紋連接或套管連接。