[發明專利]日盲紫外像增強器帶外相對光譜響應度測試裝置及方法

在審

• 申請號: 201410172204.3
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN103983430A
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 崔穆涵;周躍;陳雪;章明朝;閆豐
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 陶尊新

技術領域

本發明涉及日盲紫外像增強器參數測試技術領域，具體涉及日盲紫外像增強器帶外相對光譜響應度的測試裝置及方法。

背景技術

日盲紫外ICCD的研制是日盲紫外成像探測關鍵性的核心技術之一，其帶外相對光譜響應度指在近紫外、可見及近紅外譜段對入射輻照的響應能力，該參數主要用于體現日盲紫外ICCD對于帶外輻射的響應能力優劣，準確測試帶外相對光譜響應度對于實現其與濾光片的光譜優化匹配進而提升系統信噪比具有重要意義。目前對于可見光探測器及紅外探測器的光電參量測試研究較為成熟，但是由于紫外ICCD探測原理與可見光和紅外探測器有所不同，測試方法不能通用，而且系統復雜度高，參量測試難度較大，因此國內關于紫外ICCD性能參量測量方面的研究報道很少。趙玉環等于2009年采用直接比較法測定了紫外ICCD的相對光譜響應度，并基于具有優異紫外響應能力的科研級光譜儀建立了紫外ICCD光譜響應測量裝置。但是，該方法僅能測試220nm-300nm譜段紫外ICCD的帶內相對光譜響應，對于300nm以上的譜段，由于ICCD響應度較低且其建立的測試裝置靈敏度及精度不夠則無法測試。另外，該方法采用灰度值作為輸出信號計算探測器的相對光譜響應，由于灰度值隨著ICCD增益的增大而增大，因此存在很大的不確定性。紫外ICCD是由像增強器、光纖光錐、CCD及電子線路等封裝而成。一旦封裝完成，一些關鍵參量如相對光譜響應度等只能由如上文中所述的灰度值或者光子數等參量間接推知。相較于紫外ICCD整機，單純對其中的像增強器進行相關光電參量測試，不僅更能直觀且準確的表征紫外ICCD的性能，也可進一步指導國內研制單位開展工藝改進，進而提高器件性能，滿足現階段對紫外ICCD的性能需求，促進我國紫外成像探測技術的發展。

發明內容

本發明為解決無法準確表征日盲紫外ICCD相對光譜響應特性以及由于其帶外響應極低，導致帶外相對光譜響應度無法準確測試的問題，本發明提供一種日盲紫外像增強器帶外相對光譜響應度測試裝置及方法。日盲紫外像增強器帶外相對光譜響應度測試裝置，包括光源；

暗箱，位于所述光源前方，暗箱的側面設置有一個入光口；

可伸縮屏蔽罩，位于所述入光口和所述光源之間；

會聚透鏡，位于所述可伸縮屏蔽罩內，用于將光源出射光全部收集以供測試；

陷阱探測器，位于所述暗箱內部，用于探測所述光源的輸出光電流；

屏蔽盒，位于所述暗箱內部，用于盛載待測像增強器，對所述待測像增強器進行有效電磁屏蔽；

靜電計，連接所述待測像增強器的輸出信號端，用于探測光源通過待測像增強器后的輸出電信號。

日盲紫外像增強器帶外相對光譜響應度測試方法，該方法由以下步驟實現：

步驟一、關閉暗箱的入光口，使陷阱探測器上無光照進入，測量所述陷阱探測器的輸出電信號作為暗電流噪聲，將陷阱探測器調零，并對暗電流噪聲進行零位補償；

步驟二、打開暗箱的入光口，由陷阱探測器探測光源的輸出光電流I₀(λ)，然后關閉暗箱的入光口，使所述待測日盲紫外像增強器上無光照進入，由靜電計測量待測像增強器的輸出電信號作為暗電流噪聲，將所述暗電流噪聲設定為靜電計的參考值；

步驟三、由所述靜電計測量光源通過待測日盲紫外像增強器的輸出電信號I_t(λ)；

步驟四、根據步驟二和步驟三獲得的電信號，計算日盲紫外像增強器帶外相對光譜響應度：