[發明專利]用于浸沒式曝光裝置的物件表面形貌檢測裝置

有效

• 申請號: 201410171815.6
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN105022233B
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 盧士良;章磊;陶國峰
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種用于浸沒式曝光裝置的物件表面形貌檢測裝置，其特征在于，包括：設置在曝光裝置和被曝光物體之間的液體供給裝置，所述液體供給裝置內部為一空腔，所述空腔四周設置有若干與液體供給管路連通的小孔，液體通過所述小孔填充至液體供給裝置與被曝光物體之間，所述液體供給管路上安裝有液體壓力傳感器，所述液體供給裝置與被曝光物體被固定于一固定架上，且所述液體供給裝置與被曝光物體之間的距離固定，所述被曝光物體沿著坐標軸的X方向和Y方向移動，在整個移動過程中，液體供給裝置的小孔內不斷有液體涌出，每個小孔內的水流壓力隨著液體供給裝置和被曝光物體表面間的距離變化而變化，通過所述液體壓力傳感器檢測每個小孔的液體壓力值，判斷被曝光物體表面與出液小孔的相對距離，通過該相對距離反映被曝光物體表面的高度，將每個小孔內獲得壓力轉換成高度值，模擬出被曝光物體表面形貌。

2.如權利要求1所述的用于浸沒式曝光裝置的物件表面形貌檢測裝置，其特征在于，所述液體供給管路與液體供給箱相連，為所述液體供給裝置提供液體。

3.如權利要求1所述的用于浸沒式曝光裝置的物件表面形貌檢測裝置，其特征在于，所述液體供給裝置的外側還設置有液體回收環，所述液體回收環與液體回收箱連通，用于液體回收。

4.如權利要求3所述的用于浸沒式曝光裝置的物件表面形貌檢測裝置，其特征在于，液體回收環中的液體通過液體回收管流到所述液體回收箱中。

5.如權利要求1所述的用于浸沒式曝光裝置的物件表面形貌檢測裝置，其特征在于，每一個或多個小孔對應一路液體供給管路。