[發明專利]壓電振動元件及其制造方法、壓電振子及壓電振蕩器

在審

• 申請號: 201410171614.6
• 申請日: 2011-12-01
• 公開（公告）號: CN103973251A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 山田明法
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/21;H03H9/02
• 代理公司: 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

1.一種振動元件，其特征在于，包括：

一對振動臂；

基部，其與一對所述振動臂的一側端部側連接；

狹縫，其將所述振動臂的互為表背關系的第一主面與第二主面連通，并沿著所述振動臂的延伸方向以直線狀延伸。

2.如權利要求1所述的振動元件，其特征在于，

所述狹縫沿著與所述延伸方向交叉的方向而并排配置有多條。

3.如權利要求2所述的振動元件，其特征在于，

多條所述狹縫的沿著所述交叉的方向的寬度互為相同。

4.如權利要求3所述的振動元件，其特征在于，

多條所述狹縫的沿著所述延伸方向的長度互為相同。

5.如權利要求2至4中任一項所述的振動元件，其特征在于，

多條所述狹縫的所述延伸方向上的兩端部的位置在從所述交叉的方向觀察時是相同的。

6.如權利要求5所述的振動元件，其特征在于，

所述振動臂包括：

錘部；

臂部，其在俯視觀察時，被配置在所述錘部與所述基部之間；

所述狹縫被配置在所述錘部上。

7.一種振子，其特征在于，具備：

權利要求1至4中任一項所述的振動元件；

封裝件，其對所述振動元件進行收納。

8.一種振蕩器，其特征在于，具備：

權利要求1至4中任一項所述的振動元件；

集成電路。

9.一種陀螺傳感器，其特征在于，具備：

權利要求1至4中任一項所述的振動元件。