[發明專利]光學非破壞檢查裝置以及光學非破壞檢查方法

無效

• 申請號: 201410168287.9
• 申請日: 2014-04-24
• 公開（公告）號: CN104122297A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 松本直樹;吉田航也;松本順
• 申請（專利權）人: 株式會社捷太格特
• 主分類號: G01N25/72
• 分類號: G01N25/72
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;蘇琳琳

1.一種光學非破壞檢查裝置，其包括：

聚光準直裝置，其使沿著光軸從第一側入射的平行光從第二側射出，并朝向作為焦點位置設定在測定對象物上的測定點聚光，并且將從所述測定點放射以及被反射而從第二側入射的光變換為沿著光軸的平行光，使所述平行光從第一側射出；

加熱用激光源，其射出以不破壞測定對象物的方式加熱測定對象物的激光；

加熱用激光導光裝置，其將所述加熱用激光向所述聚光準直裝置的第一側引導；

紅外線檢測器，其能夠檢測出從所述測定點放射的紅外線；

放射紅外線導光裝置，其從自所述測定點放射且自所述聚光準直裝置的第一側射出的平行光中將規定紅外線波長的紅外線向所述紅外線檢測器引導；

第一修正用激光源，其射出第一修正用激光，所述第一修正用激光與所述加熱用激光相比輸出功率小且波長不同；

第一修正用激光導光裝置，其將從所述第一修正用激光源射出的所述第一修正用激光向所述聚光準直裝置的第一側引導；

第一修正用激光檢測器，其能夠檢測出被所述測定點反射的所述第一修正用激光；

第一反射激光導光裝置，其將被所述測定點反射并從所述聚光準直裝置的第一側射出的所述第一修正用激光向所述第一修正用激光檢測器引導；

第二修正用激光源，其射出第二修正用激光，所述第二修正用激光與所述加熱用激光相比輸出功率小且波長不同；

第二修正用激光導光裝置，其將從所述第二修正用激光源射出的所述第二修正用激光向所述聚光準直裝置的第一側引導；

第二修正用激光檢測器，其能夠檢測出被所述測定點反射的所述第二修正用激光；

第二反射激光導光裝置，其將被所述測定點反射且從所述聚光準直裝置的第一側射出的所述第二修正用激光向所述第二修正用激光檢測器引導；以及

控制裝置，

其中，

所述控制裝置控制所述加熱用激光源、所述第一修正用激光源以及所述第二修正用激光源，并且基于來自所述紅外線檢測器的檢測信號、來自所述第一修正用激光檢測器的檢測信號以及來自所述第二修正用激光檢測器的檢測信號，對與加熱時間對應的所述測定點的溫度上升狀態亦即溫度上升特性進行測定，基于測定出的所述溫度上升特性判定測定對象物的狀態。

2.根據權利要求1所述的光學非破壞檢查裝置，其中，

所述加熱用激光導光裝置構成為包括：

加熱用激光準直裝置，其配置于所述加熱用激光源的附近，并將從所述加熱用激光源射出的加熱用激光變換為平行光；

加熱激光用選擇反射裝置，其配置于所述聚光準直裝置的光軸上，使所述加熱用激光朝向所述聚光準直裝置的第一側反射，并且使從所述測定點放射以及被反射而從所述聚光準直裝置的第一側射出的平行光中的、波長與加熱用激光的波長不同的光透過；或者，該加熱激光用選擇反射裝置配置于所述聚光準直裝置的光軸上，使所述加熱用激光朝向所述聚光準直裝置的第一側透過，并且使從所述測定點放射以及被反射而從所述聚光準直裝置的第一側射出的平行光中的、波長與加熱用激光的波長不同的光反射。

3.根據權利要求2所述的光學非破壞檢查裝置，其特征在于，

所述放射紅外線導光裝置構成為包括：

所述加熱激光用選擇反射裝置；

規定紅外線用選擇反射裝置，其配置于波長與加熱用激光的波長不同的平行光的路徑上，該平行光是從所述聚光準直裝置的第一側射出并透過所述加熱激光用選擇反射裝置的平行光或者是被所述加熱激光用選擇反射裝置反射的平行光，所述規定紅外線用選擇反射裝置從所述平行光中使規定紅外線波長的紅外線朝向所述紅外線檢測器反射，并且使波長與規定紅外線波長不同的平行光透過；或者，該規定紅外線用選擇反射裝置配置于波長與加熱用激光的波長不同的平行光的路徑上，該平行光是從所述聚光準直裝置的第一側射出并透過所述加熱激光用選擇反射裝置的平行光或者是被所述加熱激光用選擇反射裝置反射的平行光，所述規定紅外線用選擇反射裝置從所述平行光中使規定紅外線波長的紅外線朝向所述紅外線檢測器透過，并且使波長與規定紅外線波長不同的平行光反射；以及

紅外線聚光裝置，其配置于所述紅外線檢測器的附近，使被所述規定紅外線用選擇反射裝置反射或者透過了所述規定紅外線用選擇反射裝置的規定紅外線波長的平行光的紅外線朝向所述紅外線檢測器進行聚光。