[發明專利]平面關節型機械手

有效

• 申請號: 201410166408.6
• 申請日: 2014-04-23
• 公開（公告）號: CN105014660B
• 公開（公告）日: 2017-03-15
• 發明（設計）人: 楊輝;張寶順;吳燕華
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: B25J9/08
• 分類號: B25J9/08;B25J18/02;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 李廣

1.一種平面關節型機械手，其特征在于，包括：由密封板和真空蓋罩構成的真空腔體（1），置于真空腔體（1）內部密封板上的執行機構（2），真空腔體（1）外的驅動機構（3）；

所述執行機構（2）包括依次連接的第一小臂（20），第二小臂（21），第三小臂（22）和第四小臂（23），還包括臂連接基座（26）和一端安裝有第一夾具(240)的伸縮臂(24)，臂連接基座(26)與第一小臂(20)和第三小臂(22)連接，伸縮臂(24)通過安裝在靠近臂連接基座(26)外側的彈簧頂針(27)固定在臂連接基座(26)上；

所述驅動機構(3)，用來通過驅動第二小臂（21）和第四小臂（23）轉動來使伸縮臂（24）在真空腔體（1）內進行轉動、伸縮。

2.根據權利要求1所述的平面關節型機械手，其特征在于，所述驅動機構包括第一伺服電機（30）、第二伺服電機（31）和第三伺服電機（32）；

當第一伺服電機（30）和第二伺服電機（31）分別驅動第二小臂（21）和第四小臂(23)以大小相等、方向相同的角速度轉動時，伸縮臂(24)在真空腔體(1)內轉動；當第一伺服電機(30)和第二伺服電機(31)分別驅動第二小臂(21)和第四小臂(23)以大小相等、方向相反的角速度轉動時，伸縮臂(24)在真空腔體(1)內徑向伸縮；

第三伺服電機(32)用來驅動所述真空腔體1的密封板的升降。

3.根據權利要求1所述的平面關節型機械手，其特征在于，所

述平面關節型機械手還包括鋼帶(25)，所述鋼帶(25)通過帶輪連接在第一小臂(20)和第四小臂(23)的固定軸上，帶輪傳動比為1:1。

4.根據權利要求1所述的平面關節型機械手，其特征在于，所述伸縮臂(24)采用C型鋼結構。

5.根據權利要求1所述的平面關節型機械手，其特征在于，在所述真空腔體(1)的密封板外部設置支撐基座(4)，所述支撐基座(4)通過所述密封板與執行機構(2)相連。

6.根據權利要求1所述的平面關節型機械手，其特征在于，在所述真空腔體(1)底端的密封板上設置有支撐架(5)，伸縮臂(24)上另一端部安裝有第二夾具(241),所述真空腔室的蓋罩上設置有第一下壓機構（6）,第二下壓機構（7）,伸縮臂(24)上靠近第一夾具(240)的部位安裝有銷釘(8)；

支撐架(5)用來支撐下降后的伸縮臂(24)，所述第一下壓機構（6）用來下壓彈簧頂針(27)，使伸縮臂(24)與彈簧頂針(27)的銷釘脫離；所述第二下壓機構（7）用來下壓銷釘(8)，使得滑動到銷釘(8)處的臂連接基座(26)通過銷釘(8)與伸縮臂(24)固定。

7.根據權利要求6所述的平面關節型機械手，其特征在于，第一夾具（240）和第二夾具（241）相同或不相同。

8.根據權利要求1所述的平面關節型機械手，其特征在于，所述驅動部件及所述執行部件均采用不銹鋼材料制成，或者使用在真空中放氣率低的其它金屬材料。