[發(fā)明專利]反轉(zhuǎn)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410165996.1 | 申請日： | 2014-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN104211293B | 公開（公告）日： | 2018-03-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 西尾仁孝 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星鉆石工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號： | C03B33/02 | 分類號： | C03B33/02 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11019 | 代理人： | 壽寧,張華輝 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 反轉(zhuǎn) 裝置 | ||
1.一種反轉(zhuǎn)裝置，是用以使基板反轉(zhuǎn)，其特征在于，具備：
第1保持構(gòu)件，具有保持該基板的第1保持面；以及
旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，將該第1保持構(gòu)件支承成能沿著第1軸滑動，且以使該第1保持構(gòu)件的第1保持面的正反面反轉(zhuǎn)的方式旋轉(zhuǎn)；
該第1保持構(gòu)件在第1前進(jìn)位置與第1后退位置之間滑動，該第1后退位置相比于該第1前進(jìn)位置，該第1保持面較靠近該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)軸側(cè)；
該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件在該第1保持構(gòu)件位于該第1后退位置時旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：其進(jìn)一步具備具有保持該基板的第2保持面的第2保持構(gòu)件；
該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件將該第2保持構(gòu)件支承成能沿著與該第1軸平行延伸的第2軸滑動；
該第2保持構(gòu)件在第2前進(jìn)位置與第2后退位置之間滑動，且借由該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)使該第2保持面正反面反轉(zhuǎn)，該第2后退位置相比于該第2前進(jìn)位置，該第2保持面較靠近該旋轉(zhuǎn)軸側(cè)；
該第1前進(jìn)位置與該第2前進(jìn)位置以該旋轉(zhuǎn)軸為中心位于相反方向。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的反轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：其中該第1保持構(gòu)件進(jìn)行升降。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的反轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：其進(jìn)一步具備將該旋轉(zhuǎn)構(gòu)件支承成能旋轉(zhuǎn)且能升降的支承構(gòu)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的反轉(zhuǎn)裝置，其特征在于：其中該第1保持構(gòu)件具有吸附該基板的吸附部。
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