[發(fā)明專利]物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410165846.0
• 申請日: 2014-04-23
• 公開（公告）號: CN104121935B
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高田豐
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12;G01C19/56;G01C19/5607
• 代理公司: 北京金信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11225
• 代理人: 黃威,蘇萌萌

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體。

背景技術(shù)

目前，在各種系統(tǒng)或電子設(shè)備中，對加速度進行檢測的加速度傳感器或?qū)撬俣冗M行檢測的陀螺儀傳感器等、可對各種物理量進行檢測的物理量傳感器被廣泛利用。特別是，近年來在智能手機等移動設(shè)備中內(nèi)置有角速度傳感器或加速度傳感器，從而傳感器封裝件的小型化、薄型化變得較為重要。

作為現(xiàn)有的傳感器封裝件的一個示例，在專利文獻1中記載有一種半導體氣密封裝件，所述半導體氣密封裝件具備另一端側(cè)露出于IC基板的外表面并與外部電連接的外部電極部。此外，在專利文獻2中記載有一種如下結(jié)構(gòu)的封裝件，所述結(jié)構(gòu)為，傳感器元件以及IC的電極部通過引線接合而與陶瓷封裝件內(nèi)部電極連接，并且經(jīng)由陶瓷封裝件內(nèi)的配線而與外部電極連接的結(jié)構(gòu)。在任一示例中，封裝件的作用均發(fā)揮如下作用，即，在確對內(nèi)部設(shè)備的保護與氣密的同時，確保內(nèi)部與外部的電導通。因此，在一般的封裝件內(nèi)配線中，希望極力降低了配線電阻的電配線，從而在電壓降較少的狀態(tài)下實施信號的輸入輸出。如此，在極力降低了配線電阻的配線結(jié)構(gòu)以及配線材料的情況下，對于電源線或通信線的配線而言，電壓降較少從而是有利的。

但是，在將現(xiàn)有的傳感器封裝件與微型電子計算機或放大電路等外部電路相連接的情況下，不具有對于電源噪聲或通信噪聲的耐性。因此，在電源線的情況下，存在在傳感器內(nèi)部混入有噪聲從而發(fā)生誤動作或功能異常的可能性。此外，在通信線的情況下，存在如下問題，即，由于因與外部電路的配線而產(chǎn)生的寄生成分或阻抗的失配，從而在信號波形中產(chǎn)生過沖或下沖，由此導致通信不良的問題。

專利文獻1：日本特開2009-59941號公報

專利文獻2：日本特開2009-41962號公報

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為鑒于以上的這種問題點而完成的發(fā)明，并能夠提供一種具有可提高相對于來自外部裝置的噪聲的耐性、或者降低與外部裝置之間的阻抗的失配的封裝件結(jié)構(gòu)的物理量傳感器、及使用了該物理量傳感器的電子設(shè)備以及移動體。

本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的發(fā)明，并可以作為以下的方式或應用例來實現(xiàn)。

應用例1

本應用例所涉及的物理量傳感器包括：傳感器元件；集成電路，其與所述傳感器元件電連接；基體，其搭載有所述集成電路，在所述基體的一個面上，配置有用于實施與外部的電連接的第一導體圖案，并且配置有與所述第一導體圖案電連接的第二導體圖案，所述第二導體圖案具有被配置于所述基體的內(nèi)部的第一配線圖案、和被配置于所述基體的另一個面上的第二配線圖案，所述第一配線圖案長于所述一個面與所述另一個面之間的距離。

本應用例所涉及的物理量傳感器例如既可以為加速度傳感器、陀螺儀傳感器(角速度傳感器)、速度傳感器等慣性傳感器，也可以為根據(jù)重力而對傾斜角進行測量的傾斜儀。

根據(jù)本應用例所涉及的物理量傳感器，由于與用于實施與外部的電連接的第一導體圖案電連接的第二導體圖案長于采用現(xiàn)有方式從外部起以最短路徑(向上側(cè)呈直線狀)被形成的導體圖案，因此第二導體圖案的電阻值與現(xiàn)有的導體圖案相比較高，從而提高了噪聲耐性。

應用例2

在上述應用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，即，在俯視觀察所述基體時，所述第一配線圖案至少從所述集成電路的一端側(cè)向另一端側(cè)延伸。

根據(jù)本應用例所涉及的物理量傳感器，由于即使不增大基體的寬度也能夠?qū)⒌谝慌渚€圖案設(shè)置得較長，因此能夠高效地形成電阻值較高的配線圖案。因此，能夠提高噪聲耐性和阻抗匹配。

應用例3

在上述應用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，即，所述第一配線圖案包含直線形狀。

根據(jù)本應用例所涉及的物理量傳感器，能夠利用基體的內(nèi)層配線而高效地形成電阻值較高的配線圖案。因此，能夠提高噪聲耐性和阻抗匹配。

應用例4

在上述應用例所涉及的物理量傳感器中，可以采用如下方式，即，所述第一配線圖案的至少一部分包含蜿蜒形狀。

根據(jù)本應用例所涉及的物理量傳感器，能夠利用基體的內(nèi)層配線從而高效地形成與直線形狀的配線圖案相比電阻值更高的配線圖案。因此，能夠進一步提高噪聲耐性與阻抗匹配。

應用例5