[發明專利]抗蝕劑用聚合物以及包含該聚合物的抗蝕劑組合物

有效

• 申請號: 201410165789.6
• 申請日: 2014-04-23
• 公開（公告）號: CN104119477A
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 朱炫相;金真湖;韓俊熙;柳印泳
• 申請（專利權）人: 錦湖石油化學株式會社
• 主分類號: C08F232/08
• 分類號: C08F232/08;C08F222/06;C08F8/14;C08F8/00;G03F7/004;G03F7/00
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

1.一種具有以下化學式1所示結構的抗蝕劑用聚合物，其中，

化學式1

在所述化學式1中，

R₁選自如下組中：氫原子；羥基；縮醛基；腈基；被選自由鹵基、腈基、羥基、烷氧基、縮醛基、酰基、醛基、羧基以及酯基所組成的組中的一種以上取代基取代或未取代的碳原子數為1～20的烷基、碳原子數為1～20的烷氧基、碳原子數為6～30的芳基、硅烷基、碳原子數為2～20的烯基、碳原子數為3～30的環烷基以及環內包含至少一種選自由N、P、O以及S所組成的組中的雜原子的碳原子數為2～30的雜環基；以及它們的組合，

R₂為碳原子數為1～20的烷氧基，

R₃及R₄分別獨立為選自由氫原子、碳原子數為1～20的烷基、碳原子數為1～20的鹵代烷基、碳原子數為6～30的芳基、碳原子數為2～20的烯基、碳原子數為3～30的環烷基及其它們的組合所組成的組中，或者彼此結合形成在環內包含氧原子的雜環基，

a和b在滿足a+b＝1的條件下，0<a/(a+b)<1，0<b/(a+b)<1。

2.根據權利要求1所述的抗蝕劑用聚合物，其中，

所述R₁選自由氫原子、羥基、縮醛基、腈基以及由下述化學式2所表示的官能團所組成的組中：

化學式2

在所述化學式2中，

n是1～3的整數，

R_a選自由氫原子、羥基以及縮醛基所組成的組中，

所述R_b為選自由所組成的組中的酸敏感基，此時，R’、R”和R”’分別獨立為選自由碳原子數為1～20的烷基、碳原子數為3～30的環烷基、羥基、(碳原子數為1～10的烷基)環烷基、羥基烷基、碳原子數為1～20的烷氧基、(碳原子數為1～10的烷氧基)烷基、乙酰基、乙酰烷基、羧基、(碳原子數為1～10的烷基)羧基、(碳原子數為3～18的環烷基)羧基及碳原子數為3～30的雜環烷基所組成的組中，或者彼此相鄰的基團連接可形成碳原子數為3～30的飽和或不飽和的烴環或雜環，R””為碳原子數為1～10的烷基，z是0至3的整數，w是0至10的整數。

3.根據權利要求1所述的抗蝕劑用聚合物，其中，

所述抗蝕劑用聚合物為選自具有以下化學式1a至1x結構的化合物所組成的組中：

在所述化學式1a至1x中，R_b為選自由所組成的組中的酸敏感基，此時，R’、R”和R”’分別獨立為選自由碳原子數為1～20的烷基、碳原子數為3～30的環烷基、羥基、(碳原子數為1～10的烷基)環烷基、羥基烷基、碳原子數為1～20的烷氧基、(碳原子數為1～10的烷氧基)烷基、乙酰基、乙酰烷基、羧基、(碳原子數為1～10的烷基)羧基、(碳原子數為3～18的環烷基)羧基及碳原子數為3～30的雜環烷基所組成的組中，或者彼此相鄰的基團連接可形成碳原子數為3～30的飽和或不飽和的烴環或雜環，R””為碳原子數為1～10的烷基，z是0至3的整數，w是0至10的整數，其中，a和b在滿足a+b＝1的條件下，0<a/(a+b)<1以及0<b/(a+b)<1。

4.根據權利要求1所述的抗蝕劑用聚合物，其中，

所述抗蝕劑用聚合物根據凝膠滲透色譜法聚苯乙烯換算的重均分子量為1,000至50,000g/mol。

5.根據權利要求1所述的抗蝕劑用聚合物，其中，

所述抗蝕劑用聚合物的重均分子量與數均分子量之比(Mw/Mn)的分子量分布為1至3。

6.一種抗蝕劑組合物，其含有權利要求1所述的抗蝕劑用聚合物。

7.根據權利要求6所述的抗蝕劑組合物，

相對于抗蝕劑組合物的總重量，所述抗蝕劑用聚合物的含量為3至20重量％。

8.根據權利要求6所述的抗蝕劑組合物，其中，

所述抗蝕劑組合物是反轉顯影用抗蝕劑組合物。