[發明專利]具有基本上正交的釘扎方向的雙軸磁場傳感器

有效

• 申請號: 201410164552.6
• 申請日: 2010-04-16
• 公開（公告）號: CN103901364B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發明（設計）人: P·馬瑟;J·斯勞特
• 申請（專利權）人: 艾沃思賓技術公司
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 陳華成

1.一種基于鐵磁薄膜的磁場傳感器，其中所述磁場傳感器包括兩個或更多個參考層磁化方向，所述磁場傳感器包括：

襯底；

在所述襯底之上的第一絕緣層；

在所述第一絕緣層之上的第一傳感器層堆疊，所述第一傳感器層堆疊包括在所述第一絕緣層之上的第一參考層；以及

在所述第一絕緣層之上的第二傳感器層堆疊，所述第二傳感器層堆疊包括在所述第一絕緣層之上的第二參考層；

其中所述第一電極堆疊具有定義用于所述第一參考層的第一參考方向的第一形狀各向異性，并且所述第二電極堆疊具有定義用于所述第二參考層的第二參考方向的第二形狀各向異性，其中所述第二參考方向與所述第一參考方向不同，其中所述第一參考層和所述第二參考層分別具有第一長軸和第二長軸，所述第一長軸和所述第二長軸定位成確保所述第一參考方向和所述第二參考方向是彼此正交的；以及

以下中的至少一個：

所述第一參考層和所述第二參考層都具有被修改過的各向異性；及

所述第一長軸和所述第二長軸是以非正交的角度設置的。

2.如權利要求1所述的基于鐵磁薄膜的磁場傳感器，其中所述第一參考層和所述第二參考層每個都包括利用由分隔層隔開的第一鐵磁體層和第二鐵磁體層形成的不平衡的合成反鐵磁體，其中第一鐵磁層和第二鐵磁層具有不同的磁矩。

3.如權利要求2所述的基于鐵磁薄膜的磁場傳感器，其中所述第一和第二鐵磁層每個都具有分別沿所述第一參考層和所述第二參考層的短軸對準的磁化。

4.如權利要求1所述的基于鐵磁薄膜的磁場傳感器，其中所述第一傳感器層堆疊和所述第二傳感器層堆疊每個都包括分別與所述第一參考層和所述第二參考層相鄰的反鐵磁層。