[發明專利]太陽能電池前接觸層及其制造方法

有效

• 申請號: 201410163231.4
• 申請日: 2014-04-22
• 公開（公告）號: CN104835861B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 徐維駿;王晨昀
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司11409
• 代理人: 章社杲,孫征

1.一種太陽能電池板，包括：

背接觸層；

吸收層，位于所述背接觸層上方；

緩沖層，位于所述吸收層上方，以及

前接觸層，包括所述緩沖層上方的透明導電材料，所述前接觸層具有多個外邊緣和包括沿著所述外邊緣的晶種層材料的晶種層。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池，其中：

所述透明導電材料和所述晶種層材料具有相同的化學成分；以及

所述透明導電材料和所述晶種層材料具有不同的微結構。

3.根據權利要求2所述的太陽能電池，其中：

所述晶種層材料具有比所述透明導電材料更小的晶粒尺寸。

4.根據權利要求1所述的太陽能電池，其中，所述晶種層的厚度小于所述透明導電材料的厚度。

5.根據權利要求1所述的太陽能電池，其中，所述透明導電材料具有第一厚度，所述晶種層具有第二厚度，并且所述第一厚度與所述第二厚度的比率在2:1至30:1的范圍內。

6.根據權利要求1所述的太陽能電池，其中，所述透明導電材料具有第一寬度，所述晶種層材料在所述外邊緣處具有第二寬度，并且所述第一寬度與所述第二寬度的比率在6:1到17:1的范圍內。

7.根據權利要求1所述的太陽能電池，其中，所述晶種層材料的晶體取向不同于所述透明導電材料的晶體取向。

8.根據權利要求1所述的太陽能電池，其中，所述前接觸層還包括所述晶種層上方的所述透明導電材料的邊緣層。

9.一種制造太陽能電池板的方法，包括：

形成背接觸層；

在所述背接觸層上方形成吸收層；

在所述吸收層上方形成緩沖層，以及

在所述緩沖層上方形成包括透明導電材料的前接觸層，所述前接觸層具有多個外邊緣和包括沿著所述外邊緣的晶種層材料的晶種層。

10.一種裝置，包括：

室，具有用于供應工藝氣體的一個或多個開口，所述工藝氣體用于在具有中心和多個邊緣的太陽能電池板襯底的上方形成透明導電層；

第一加熱板，位于所述室內，所述第一加熱板的寬度小于所述太陽能電池板襯底的寬度并且所述第一加熱板位于所述太陽能電池板襯底的中心下面；以及

第二加熱板，鄰近所述第一加熱板，被定位在所述邊緣下面，使得所述第一加熱板和所述第二加熱板一起位于所述太陽能電池板襯底的所述中心和所述邊緣下面，

其中，所述裝置可以以直接加熱所述太陽能電池板襯底的中心而不直接加熱所述邊緣的第一模式操作，并且所述裝置可以以直接加熱所述太陽能電池板襯底的中心和邊緣的第二模式操作。