[發(fā)明專利]一種陣列基板、顯示裝置及陣列基板的制作方法

有效

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• 申請日: 2014-04-22
• 公開（公告）號: CN103972242A
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設計）人: 李卿碩
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77;H01L23/538;G02F1/1362;G02F1/1368
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種陣列基板，包括多個柵極焊墊，其特征在于，每一個所述柵極焊墊包括：位于襯底基板之上的柵極層，位于所述柵極層之上的柵極絕緣層，位于所述柵極絕緣層之上的第一透明導電層，位于所述第一透明導電層之上的鈍化層，以及位于所述鈍化層之上的第二透明導電層，其中，

所述柵極層包括柵極焊接區(qū)域；所述柵極絕緣層開設有位于所述柵極焊接區(qū)域上方的至少一個第一過孔；所述第一透明導電層通過每一個第一過孔與所述柵極焊接區(qū)域導電接觸；所述鈍化層開設有至少一個第二過孔，所述第二透明導電層通過每一個第二過孔與所述第一透明導電層導電接觸。

2.如權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述柵極焊墊為集成電路的柵極焊墊，所述集成電路的柵極焊墊還包括位于所述第一透明導電層與所述鈍化層之間且包括位于所述柵極焊接區(qū)域上方的源漏極的源漏極層，所述至少一個第二過孔未露出所述源漏極層。

3.如權利要求2所述的陣列基板，其特征在于，還包括多個源漏極焊墊，每一個所述源漏極焊墊包括：位于所述柵極絕緣層之上的第一透明導電層，位于所述第一透明導電層之上的源漏極層，位于所述源漏極層之上的鈍化層，以及位于所述鈍化層之上的第二透明導電層，其中，

所述源漏極層包括源漏極焊接區(qū)域，所述鈍化層開設有至少一個未露出所述源漏極層的第三過孔，所述第二透明導電層通過每一個所述第三過孔與所述第一透明導電層導電接觸。

4.如權利要求1～3任一所述的陣列基板，其特征在于，所述第一透明導電層包括氧化銦錫層，和/或，所述第二透明導電層包括氧化銦錫層。

5.一種顯示裝置，其特征在于，包括如權利要求1～4任一所述的陣列基板。

6.一種陣列基板的制作方法，其特征在于，包括：

在襯底基板上形成包括柵極焊接區(qū)域的柵極層的圖形；

在所述柵極層的圖形之上形成包括位于所述柵極焊接區(qū)域上方的至少一個第一過孔的柵極絕緣層的圖形；

在所述柵極絕緣層的圖形之上形成通過每一個第一過孔與所述柵極焊接區(qū)域導電接觸的第一透明導電層的圖形；

在所述第一透明導電層的圖形之上形成包括至少一個第二過孔的鈍化層的圖形；

在所述鈍化層的圖形之上形成通過每一個第二過孔與所述第一透明導電層導電接觸的第二透明導電層的圖形。

7.如權利要求6所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，在所述第一透明導電層的圖形之上形成包括至少一個第二過孔的鈍化層的圖形，具體包括：

在所述第一透明導電層的圖形之上形成包括位于所述集成電路的柵極焊墊的柵極焊接區(qū)域上方的源漏極的源漏極層的圖形；

在所述源漏極層的圖形之上形成包括至少一個第二過孔的鈍化層的圖形，所述至少一個第二過孔未露出所述源漏極層。

8.如權利要求7所述的陣列基板的制作方法，其特征在于，

在形成包括位于所述集成電路的柵極焊墊的柵極焊接區(qū)域上方的源漏極的源漏極層的圖形的同時，還形成源漏極焊接區(qū)域的圖形；

在形成包括至少一個未露出所述源漏極層的第二過孔的鈍化層的圖形的同時，還形成至少一個未露出所述源漏極層的第三過孔，所述第二透明導電層通過每一個所述第三過孔與所述第一透明導電層導電接觸。