[發明專利]一種壓電懸臂梁驅動式壓電隔膜泵

有效

• 申請號: 201410161539.5
• 申請日: 2014-04-22
• 公開（公告）號: CN103899519A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 吳越;楊志剛;劉國君;李新波;劉超
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04
• 代理公司: 長春市四環專利事務所(普通合伙) 22103
• 代理人: 郭耀輝

1.一種壓電懸臂梁驅動式壓電隔膜泵，包括：基座（1）、壓電懸臂梁（2）和液力端（3），其中壓電懸臂梁（2）一端與基座（1）連接，另一端與液力端（3）的第一側腔體（31）連接，基座（1）上的支撐臂與液力端（3）的第二側腔體（32）連接；液力端（3)由橡膠材料構成的片狀第一側腔體（31）和第二側腔體（32）內側表面相對布置，邊緣密封形成泵腔，由壓電懸臂梁（2）帶動第一側腔體（31）彎曲實現所述泵腔的體積發生改變，結合第二側腔體（32）上安裝的進口單向閥（34）和出口單向閥（35），實現流體從入口管（36）流入、出口管（37）流出的運動；

其特征在于：所述基座（1）上的各支撐臂和壓電懸臂梁（2）中心線相互平行，所述動力端可以與液力端（3）組裝與拆卸；所述壓電懸臂梁（2）與所述支撐臂交錯布置，即在第一側腔體（31）和第二側腔體（32）結合面上的投影無重合區域。

2.根據權利要求1所述的壓電懸臂梁驅動式壓電隔膜泵，其特征在于：所述支撐臂位置可以用新增壓電懸臂梁替換，此時連接在第一側腔體（31）上的壓電懸臂梁（2）與連接在第二側腔體連接的新增壓電懸臂梁運動方向相反。

3.根據權利要求1所述的壓電懸臂梁驅動式壓電隔膜泵，其特征在于：所述壓電懸臂梁（2）可以是一個單晶片壓電懸臂梁，也可以是一個雙晶片壓電懸臂梁；所述單晶片壓電懸臂梁是壓電材料薄片（21）層合到彈性基板（22）上構成的；所述雙晶片壓電懸臂梁是將彈性基板（22）層合在兩個極化方向相同的壓電材料薄片（21）之間構成的。