[發(fā)明專利]回轉(zhuǎn)零件的鍍膜裝置和鍍膜方法

無效

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• 申請日: 2014-04-22
• 公開（公告）號: CN104004994A
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發(fā)明（設計）人: 孫廣偉;辛國鋒;皮浩洋;于阿濱;蔡海文;瞿榮輝
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

技術領域

本發(fā)明涉及薄膜，特別是一種回轉(zhuǎn)零件的鍍膜裝置和鍍膜方法。

背景技術

鍍膜是用物理或化學的方法在材料表面鍍上一層電解質(zhì)膜，或鍍一層金屬膜，目的是改變材料表面的反射和透射特性，增加材料表面的焊接特性，在光學薄膜、焊接、集成電路制造、信息顯示、防護涂層等領域都有很廣的應用。要鍍出好的薄膜，除要求熟練地掌握鍍膜工藝和操作技術外，還要求有可行的夾具，現(xiàn)有的鍍膜夾具大多數(shù)適用于零件單面鍍膜，而對于零件四周表面都要鍍膜則需要設計一個回轉(zhuǎn)傳動機構來實現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種回轉(zhuǎn)零件的鍍膜裝置和鍍膜方法，目的在于克服現(xiàn)有鍍膜方式的不足及薄膜的均勻性和成膜質(zhì)量不理想的問題。

本發(fā)明的技術解決方案如下：

一種回轉(zhuǎn)零件的鍍膜裝置，包括公轉(zhuǎn)盤、自轉(zhuǎn)軸、支撐架、自轉(zhuǎn)齒輪、回轉(zhuǎn)齒輪、回轉(zhuǎn)軸和支架，公轉(zhuǎn)盤為圓形，固定在鍍膜設備上，其中心下面固定聯(lián)接自轉(zhuǎn)軸；自轉(zhuǎn)軸與自轉(zhuǎn)齒輪固定聯(lián)接，自轉(zhuǎn)齒輪通過自轉(zhuǎn)軸與支撐架的聯(lián)接實現(xiàn)支撐；回轉(zhuǎn)齒輪與回轉(zhuǎn)軸固定，回轉(zhuǎn)軸通過兩個支架固定在支撐架上；回轉(zhuǎn)齒輪與自轉(zhuǎn)齒輪嚙合連接；回轉(zhuǎn)軸一端聯(lián)接零件。

所述的自轉(zhuǎn)齒輪和回轉(zhuǎn)齒輪都為傘齒輪。

所述的自轉(zhuǎn)齒輪和回轉(zhuǎn)齒輪所傳動的旋轉(zhuǎn)中心線互為90度。

所述的自轉(zhuǎn)齒輪和回轉(zhuǎn)齒輪由鋁制成。

利用上述回轉(zhuǎn)零件的鍍膜裝置對零件表面鍍膜方法，該方法包括以下步驟：

①把公轉(zhuǎn)盤安裝在設備上；

②把自轉(zhuǎn)齒輪安裝在自轉(zhuǎn)軸的一端，自轉(zhuǎn)軸的另一端穿過支撐架上的支撐孔固定聯(lián)接在公轉(zhuǎn)盤上，隨后，自轉(zhuǎn)軸與支撐架聯(lián)接；

③把回轉(zhuǎn)齒輪與回轉(zhuǎn)軸固定聯(lián)接，然后把支架聯(lián)接在回轉(zhuǎn)軸的適當位置；

④把回轉(zhuǎn)齒輪、回轉(zhuǎn)軸通過支架聯(lián)接在支撐架上，但不固定；

⑤調(diào)節(jié)回轉(zhuǎn)齒輪位置，直到與自轉(zhuǎn)齒輪恰當嚙合后固定支架與支撐架；

⑥把零件安裝在回轉(zhuǎn)軸上；

⑦首先公轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，通過自轉(zhuǎn)齒輪與回轉(zhuǎn)齒輪傳動機構使零件具有回轉(zhuǎn)運動；

⑧按照蒸發(fā)工藝參數(shù)對蒸發(fā)源加熱，從蒸發(fā)源出來的蒸氣分子沉積到零件表面實現(xiàn)成膜。

本發(fā)明的優(yōu)點是：

該裝置是通過齒輪傳動機構使零件具有本身回轉(zhuǎn)方向的運動，可以滿足復雜零件的表面鍍膜要求，可以得到良好的均勻性，有效的提高膜層質(zhì)量。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例1的結構示意圖；

圖2是本發(fā)明實施例2的結構示意圖；

具體實施方式

圖1是本發(fā)明實施例1的結構示意圖，本發(fā)明為一個回轉(zhuǎn)零件表面鍍膜裝置，包括公轉(zhuǎn)盤1、自轉(zhuǎn)軸2、支撐架3、自轉(zhuǎn)齒輪4、回轉(zhuǎn)齒輪5、回轉(zhuǎn)軸6、支架7、零件8。公轉(zhuǎn)盤1為圓形，下部中心處聯(lián)接自轉(zhuǎn)軸2，自轉(zhuǎn)軸2與自轉(zhuǎn)齒輪4固定聯(lián)接，自轉(zhuǎn)齒輪4通過自傳軸2聯(lián)接在支撐架3上，從而保證自轉(zhuǎn)齒輪4只具有本身的自傳，在其他方向上不動。回轉(zhuǎn)齒輪5與回轉(zhuǎn)軸6固定聯(lián)接，回轉(zhuǎn)軸6通過兩個支架7固定連接在支撐架3上，從而保證回傳齒輪5只具有本身的自傳，在其他方向上不動。自轉(zhuǎn)齒輪4與回轉(zhuǎn)齒輪5嚙合聯(lián)接，兩齒輪所傳動的旋轉(zhuǎn)中心線互為90度。

實施方法如下：整個裝置通過公轉(zhuǎn)盤1固定在設備上，把需要鍍膜的零件8安裝在回轉(zhuǎn)軸6上。在外力作用下，首先使公轉(zhuǎn)盤1發(fā)生轉(zhuǎn)動，帶動自傳軸2和自轉(zhuǎn)齒輪4發(fā)生自傳，由于自轉(zhuǎn)齒輪4與回轉(zhuǎn)齒輪5嚙合聯(lián)接，所以回轉(zhuǎn)齒輪5具有自轉(zhuǎn)運動，由于回轉(zhuǎn)齒輪5通過支架7固定聯(lián)接在支撐架3上，所以回轉(zhuǎn)齒輪5不具有其他方向的運動。回轉(zhuǎn)齒輪5的自傳帶動零件8實現(xiàn)了回轉(zhuǎn)運動。對蒸發(fā)源9加熱，從蒸發(fā)源出來的蒸氣分子沿著蒸發(fā)路徑10沉積在零件8表面，即可在零件8表面沉積高質(zhì)量的均勻的膜層。

圖2為本發(fā)明實施例2的結構示意圖，是利用增加齒輪傳動機構來增加鍍膜零件數(shù)量的頂視圖。自轉(zhuǎn)齒輪4下面嚙合回轉(zhuǎn)齒輪5，兩齒輪所傳動的旋轉(zhuǎn)中心線互為90度；回轉(zhuǎn)軸6與回轉(zhuǎn)齒輪5固定聯(lián)接；在回轉(zhuǎn)軸6上固定聯(lián)接齒輪11，齒輪12與齒輪11嚙合，兩齒輪所傳動的旋轉(zhuǎn)中心線互相平行；回轉(zhuǎn)軸13與齒輪12固定聯(lián)接，這樣，依次排列可以構成多個傳動機構。蒸鍍零件時，把零件14安裝在回轉(zhuǎn)軸6和回轉(zhuǎn)軸13上，自轉(zhuǎn)齒輪4的轉(zhuǎn)動帶動回轉(zhuǎn)齒輪5發(fā)生轉(zhuǎn)動，通過回轉(zhuǎn)軸6帶動齒輪11自傳，由于齒輪12與齒輪11嚙合聯(lián)接，所以齒輪12具有自傳運動，回轉(zhuǎn)軸6和回轉(zhuǎn)軸13的轉(zhuǎn)動帶動零件具有回轉(zhuǎn)運動，實現(xiàn)表面鍍膜，采用此機構可實現(xiàn)多個零件表面鍍膜。